[實(shí)用新型]一種納米氧化鋁基銀膜石英晶體微天平傳感器有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420090687.8 | 申請(qǐng)日： | 2014-03-03 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN203705024U | 公開（公告）日： | 2014-07-09 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 曹忠;黃大凱;李盼盼;李婷;劉剛;曹婷婷 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 長(zhǎng)沙理工大學(xué) |
| 主分類號(hào)： | G01G3/16 | 分類號(hào)： | G01G3/16;G01N5/02 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 410004 湖南省長(zhǎng)沙市雨花區(qū)萬家*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 納米 氧化鋁 基銀膜 石英 晶體 天平 傳感器 | ||
1.一種納米氧化鋁基銀膜石英晶體微天平傳感器，其特征是：該傳感器包括一個(gè)石英晶體片(1)，所述石英晶體片(1)基底是鍍鋁膜層(2)，所述鍍鋁膜層(2)表面是納米三氧化二鋁膜層(3)，所述納米三氧化二鋁膜層(3)表面是鍍銀膜層(4)，形成一種基于納米氧化鋁基銀膜的石英晶體微天平傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英晶體微天平傳感器，其特征在于所述鍍鋁膜層(2)厚度為1?~?100?nm。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英晶體微天平傳感器，其特征在于所述納米三氧化二鋁膜層(3)厚度為1?~?100?nm。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的石英晶體微天平傳感器，其特征在于所述納米三氧化二鋁的形狀為球形，納米三氧化二鋁的粒徑為1?~?50?nm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英晶體微天平傳感器，其特征在于所述鍍銀膜層(4)厚度為20?~?200?nm。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英晶體微天平傳感器，其特征在于所述石英晶體片(1)?為AT切型石英晶體，其基頻為4?~?80?MHz。
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