[實(shí)用新型]一種新型的單晶硅片切割裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420089795.3
• 申請(qǐng)日: 2014-03-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203779712U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 曹錢(qián)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 共青城歐唯諾太陽(yáng)能科技有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B28D5/04
• 分類(lèi)號(hào): B28D5/04
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及切割設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種新型的單晶硅片切割裝置。

背景技術(shù)

單晶硅又名硅的單晶體，一種基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體，不同的方向具有不同的性質(zhì)，是一種良好的半導(dǎo)材料。常用于制造半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池等。

單晶硅是一種比較活潑的非金屬元素，是晶體材料的重要組成部分，處于新材料發(fā)展的前沿。其主要用途是用作半導(dǎo)體材料和利用太陽(yáng)能光伏發(fā)電、供熱等。由于太陽(yáng)能具有清潔、環(huán)保、方便等諸多優(yōu)勢(shì)，近三十年來(lái)，太陽(yáng)能利用技術(shù)在研究開(kāi)發(fā)、商業(yè)化生產(chǎn)、市場(chǎng)開(kāi)拓方面都獲得了長(zhǎng)足發(fā)展，成為世界快速、穩(wěn)定發(fā)展的新興產(chǎn)業(yè)之一。

單晶硅棒是生產(chǎn)單晶硅片的原材料，隨著國(guó)內(nèi)和國(guó)際市場(chǎng)對(duì)單晶硅片需求量的快速增加，單晶硅棒的市場(chǎng)需求也呈快速增長(zhǎng)的趨勢(shì)。

單晶硅圓片按其直徑分為6英寸、8英寸、12英寸及18英寸等。直徑越大的圓片，所能刻制的集成電路越多，芯片的成本也就越低。

現(xiàn)有的單晶硅片在進(jìn)行切割時(shí)，由于單晶硅原料與切割裝置之間沒(méi)有一個(gè)用于固定的導(dǎo)向裝置，這樣在切割過(guò)程中即使一方的振動(dòng)都會(huì)造成切割出來(lái)的單晶硅片表面有瑕疵，有時(shí)還會(huì)在切割過(guò)程中造成單晶硅片斷裂。

發(fā)明內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種新型的單晶硅片切割裝置，它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理且操作方便，通過(guò)一導(dǎo)向固定裝置使切割裝置和單晶硅原料連接為一體，這樣在切割過(guò)程中能夠很好的保護(hù)硅片，極大的提高了切割成品的質(zhì)量。

為了解決背景技術(shù)所存在的問(wèn)題，本實(shí)用新型是采用以下技術(shù)方案：它包含切割線(xiàn)1、單晶硅原料2、導(dǎo)向滾輪3、固定架4、導(dǎo)向桿5、固定夾頭6、第一伸縮桿7、活動(dòng)夾頭8、第二伸縮桿9、滾輪架10、第一連接桿11和第二連接桿12，第二伸縮桿9的上下兩端分別設(shè)置有第一連接桿11和第二連接桿12，第一連接桿11的上端左側(cè)設(shè)置有固定夾頭6，固定夾頭6的左端設(shè)置有第一伸縮桿7，第一伸縮桿7的左端設(shè)置有活動(dòng)夾頭8，固定夾頭6與活動(dòng)夾頭8的內(nèi)側(cè)設(shè)置有單晶硅原料2，第二連接桿12的下端與導(dǎo)向桿5連接，導(dǎo)向桿5的左側(cè)設(shè)置有固定架4，固定架4的外圍分別設(shè)置有數(shù)個(gè)滾輪架10，滾輪架10的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有導(dǎo)向滾輪3，數(shù)個(gè)導(dǎo)向滾輪3的外圍均勻的套接有切割線(xiàn)1。

本實(shí)用新型工作原理：切割線(xiàn)1通過(guò)電機(jī)和導(dǎo)向滾輪3進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，第一伸縮桿7進(jìn)行左右伸縮，用以帶動(dòng)活動(dòng)夾頭8進(jìn)行左右移動(dòng)，從而使單晶硅原料2固定在活動(dòng)夾頭8和固定夾頭6之間，活動(dòng)夾頭8和固定夾頭6可以通過(guò)第一連接桿11和第二伸縮桿9進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)，當(dāng)單晶硅原料2固定好后，電機(jī)帶動(dòng)切割線(xiàn)1進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，第二伸縮桿9帶動(dòng)上端的各個(gè)部件向下運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)單晶硅原料2切割，數(shù)個(gè)導(dǎo)向滾輪3均通過(guò)滾輪架10和固定架4連接為一個(gè)整體，同時(shí)還通過(guò)導(dǎo)向桿5使切割部分和被切割部分連接為一個(gè)整體。

本實(shí)用新型具有以下有益效果：它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理且操作方便，通過(guò)一導(dǎo)向固定裝置使切割裝置和單晶硅原料連接為一體，這樣在切割過(guò)程中能夠很好的保護(hù)硅片，極大的提高了切割成品的質(zhì)量。

附圖說(shuō)明：

圖1是本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式：

參看圖1，本具體實(shí)施方式采用以下技術(shù)方案：它包含切割線(xiàn)1、單晶硅原料2、導(dǎo)向滾輪3、固定架4、導(dǎo)向桿5、固定夾頭6、第一伸縮桿7、活動(dòng)夾頭8、第二伸縮桿9、滾輪架10、第一連接桿11和第二連接桿12，第二伸縮桿9的上下兩端分別設(shè)置有第一連接桿11和第二連接桿12，第一連接桿11的上端左側(cè)設(shè)置有固定夾頭6，固定夾頭6的左端設(shè)置有第一伸縮桿7，第一伸縮桿7的左端設(shè)置有活動(dòng)夾頭8，固定夾頭6與活動(dòng)夾頭8的內(nèi)側(cè)設(shè)置有單晶硅原料2，第二連接桿12的下端與導(dǎo)向桿5連接，導(dǎo)向桿5的左側(cè)設(shè)置有固定架4，固定架4的外圍分別設(shè)置有數(shù)個(gè)滾輪架10，滾輪架10的內(nèi)側(cè)均設(shè)置有導(dǎo)向滾輪3，數(shù)個(gè)導(dǎo)向滾輪3的外圍均勻的套接有切割線(xiàn)1。

本具體實(shí)施方式工作原理：切割線(xiàn)1通過(guò)電機(jī)和導(dǎo)向滾輪3進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，第一伸縮桿7進(jìn)行左右伸縮，用以帶動(dòng)活動(dòng)夾頭8進(jìn)行左右移動(dòng)，從而使單晶硅原料2固定在活動(dòng)夾頭8和固定夾頭6之間，活動(dòng)夾頭8和固定夾頭6可以通過(guò)第一連接桿11和第二伸縮桿9進(jìn)行上下運(yùn)動(dòng)，當(dāng)單晶硅原料2固定好后，電機(jī)帶動(dòng)切割線(xiàn)1進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，第二伸縮桿9帶動(dòng)上端的各個(gè)部件向下運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)單晶硅原料2切割，數(shù)個(gè)導(dǎo)向滾輪3均通過(guò)滾輪架10和固定架4連接為一個(gè)整體，同時(shí)還通過(guò)導(dǎo)向桿5使切割部分和被切割部分連接為一個(gè)整體。

本具體實(shí)施方式具有以下有益效果：它結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、設(shè)計(jì)合理且操作方便，通過(guò)一導(dǎo)向固定裝置使切割裝置和單晶硅原料連接為一體，這樣在切割過(guò)程中能夠很好的保護(hù)硅片，極大的提高了切割成品的質(zhì)量。