[實用新型]溫度傳感器的夾緊密封結構

有效

• 申請號: 201420087739.6
• 申請日: 2014-02-27
• 公開（公告）號: CN203772433U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 鄔治國;于莉
• 申請（專利權）人: 常州瑞擇微電子科技有限公司
• 主分類號: G01K1/14
• 分類號: G01K1/14;G01K1/00
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 賈海芬

技術領域

本實用新型涉及一種溫度傳感器的夾緊密封結構，屬于半導體制造技術領域。

背景技術

光掩模是集成電路芯片制造中用于批量印刷電路的模版。通過光刻工藝，將光掩模上的電路圖案大批量印刷到硅晶圓上。故而光掩模的生產過程中，剝離光刻膠的除膠工藝和清洗工藝都需要用到硫酸。光掩模生產流程中清洗工藝通常采用硫酸和過氧化氫的混合液，即形成含硫的Piranha溶液先進行清洗。為提高清洗效果，通常分別加熱兩種清洗液，再將加熱后的兩種清洗液在混合集成閥內按一定比例混合后對光掩模進行清洗，在清洗液加熱裝置的出液口處以及混合集成閥的出液口均安裝有溫度傳感器，對液體溫度進檢測，而溫度傳感器安裝在加熱裝置和閥體上時，通常是用密封帶進行密封，長期使用后造成密封失效，只能拆除密封帶，重新安裝。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種結構簡單，裝卸調節方便，并能達到長期密封防滲漏效果的溫度傳感器的夾緊密封結構。

本實用新型為達到上述目的的技術方案是：一種溫度傳感器的夾緊密封結構，其特征在于：包括溫度傳感器、帶外錐面的漲套和具有通孔的鎖緊螺母，漲套設置在連接座的安裝孔內，連接座的安裝孔內側還具有小于漲套最大外徑的限位孔，溫度傳感器穿在鎖緊螺母的通孔和漲套的通孔內，鎖緊螺母旋接在連接座的安裝孔內并頂在漲套上，漲套的外錐面頂在限位孔與安裝孔的臺階面上，漲套夾緊溫度傳感器而密封。

本實用新型將漲套設置在連接座的安裝孔內，而溫度傳感器穿在鎖緊螺母的通孔和漲套的通孔內，裝卸溫度傳感器非常方便，當鎖緊螺母旋接在連接座的安裝孔時，通過鎖緊螺母頂在漲套上，使漲套軸向移動時，并將漲套上的外錐面頂在限位孔與安裝孔的臺階面上，將鎖緊螺母作用在漲套上的軸向力轉化為徑向力使漲套變形，從而消除漲套與溫度傳感器之間的縫隙夾緊溫度傳感器，同時漲套的錐面與安裝孔和限位孔形成的臺階面密封，從而達到密封防滲漏的效果。本實用新型結構簡單，溫度傳感器裝卸、調節方便，能將溫度傳感器設置在連接座的內部，能準確測量液體溫度，同時能通過調節鎖緊螺母來調節漲套夾緊溫度傳感器，通過調節能自動補償滲漏間隙，能達到長期密封防滲漏的效果。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型的實施例作進一步的詳細描述。

圖1是本實用新型溫度傳感器的夾緊密封結構的結構示意圖。

其中：1—連接座，1-1—出液腔，1-2—限位孔，1-3—安裝孔，1-4—第一進液腔，1-5—第二進液腔，2—溫度傳感器，3—漲套，4—鎖緊螺母，4-1—臺階孔端面，4-2—通孔。

具體實施方式

見圖1所示，本實用新型的溫度傳感器的夾緊密封結構，包括溫度傳感器2、帶外錐面的漲套3和具有通孔4-2的鎖緊螺母4，漲套3設置在連接座1的安裝孔1-3內，該安裝孔1-3可采用臺階孔，本實用新型的連接座1可為閥體或需要測量溫度的加熱裝置等，見圖1所示，本實用新型的連接座1為集成混合閥，該集成混合閥內設有第一進液腔1-4和第二進液腔1-5，將兩種不同加熱后的液體引進混合閥內混合后從出液腔1-1排出。見圖1所示，本實用新型連接座1的安裝孔1-3內側還具有小于漲套3最大外徑的限位孔1-2，溫度傳感器2穿在鎖緊螺母4的通孔和漲套3的通孔內，鎖緊螺母4旋接在連接座1的安裝孔1-3內并頂在漲套3上，漲套3的外錐面頂在限位孔1-2與安裝孔1-3的臺階面處，漲套3夾緊溫度傳感器2而密封，將鎖緊螺母4作用在漲套3上的軸向力，在臺階面的作用下使漲套3變形而產生徑向力，變形后的漲套3的通孔而夾緊溫度傳感器2而進行密封，不僅消除溫度傳感器2與漲套3之間的縫隙，同時漲套3與安裝座1形成很好的密封，并可隨時調節鎖緊螺母4，使漲套3與溫度傳感器2及安裝孔1-3保持良好密封。見圖1所示，本實用新型溫度傳感器2設置在集成混合閥的出液腔1-1內，通過溫度傳感器2準確檢測出液腔1-1內的混合液的溫度。

見圖1所示，本實用新型溫度傳感器2外部包覆有熱縮管，鎖緊螺母4具有臺階孔，且鎖緊螺母4臺階孔端面4-1壓接在漲套3的端面上，使鎖緊螺母4可靠的壓接在漲套3上，通過漲套3變形而與溫度傳感器2密封。

見圖1所示，本實用新型的漲套3可采用PFA材質制成，漲套3為雙外錐面套管，使漲套3具有較好的機械性能。