[實用新型]一種原位形貌和光學性能監控蒸發源及真空沉積設備

有效

• 申請號: 201420087536.7
• 申請日: 2014-02-27
• 公開（公告）號: CN203700504U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 遲力峰;王文沖
• 申請（專利權）人: 蘇州大學
• 主分類號: C23C14/52
• 分類號: C23C14/52;C23C14/24
• 代理公司: 蘇州創元專利商標事務所有限公司 32103
• 代理人: 項麗

1.一種原位形貌和光學性能監控蒸發源，其特征在于：它包括真空法蘭、支撐于所述真空法蘭任一側面上的熱屏蔽組件、嵌設于所述熱屏蔽組件遠離真空法蘭一端的加熱組件、內置于所述加熱組件內的材料容器、安裝于所述材料容器附近用于測量其溫度的溫度測量組件、分別與所述加熱組件和溫度測量組件相電連接且安裝于真空法蘭上的真空電連接器、與所述真空電連接器相連接的控制電源，所述的蒸發源還包括安裝于熱屏蔽組件內的顯微鏡，所述的真空法蘭上設有與顯微鏡位置相對的觀察窗口。

2.根據權利要求1所述的原位形貌和光學性能監控蒸發源，其特征在于：所述的蒸發源還包括設于光學組件，所述的光學組件靠近觀察窗口且與熱屏蔽組件位于真空法蘭的不同側。

3.根據權利要求2所述的原位形貌和光學性能監控蒸發源，其特征在于：所述的蒸發源還包括與光學組件相連接的成像組件。

4.根據權利要求2所述的原位形貌和光學性能監控蒸發源，其特征在于：所述的蒸發源還包括與光學組件相連接的光譜儀、與光譜儀相連接的的探測器。

5.根據權利要求2所述的原位形貌和光學性能監控蒸發源，其特征在于：所述的蒸發源還包括分別與光學組件相連接的光譜儀和成像組件、與光譜儀相連接的的探測器、分別與成像組件及探測器相連接的用于數據采集和數據處理的計算機系統。

6.根據權利要求1所述的原位形貌和光學性能監控蒸發源，其特征在于：所述觀察窗口的材料為玻璃、石英或藍寶石。

7.根據權利要求1所述的原位形貌和光學性能監控蒸發源，其特征在于：所述加熱組件的數量為一個或多個，所述容器、溫度測量組件、真空電連接器和控制電源的數量分別與加熱組件的數量一致。

8.一種原位形貌和光學性能監控真空沉積設備，其特征在于：包括如權利要求1至7中任一所述的蒸發源。