[實用新型]SPM系統的自動加液機構

有效

• 申請號: 201420084823.2
• 申請日: 2014-02-27
• 公開（公告）號: CN203767976U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 鄔治國;金輝
• 申請（專利權）人: 常州瑞擇微電子科技有限公司
• 主分類號: B67C3/02
• 分類號: B67C3/02;B67C3/22
• 代理公司: 常州市維益專利事務所 32211
• 代理人: 賈海芬

技術領域

本實用新型涉及一種SPM系統的自動加液機構，屬于集成電路工藝清洗技術領域。

背景技術

在半導體器、集成電路以及光伏等電子產品的制造過程中，經常需要通過光刻方法，將光掩模板上的電路圖案大批量印刷到硅晶圓上。在光掩模板經過曝光、顯影之后，需要去除表面的光刻膠。而SPM工藝主要用于清洗電子器件基板的有機殘留物，硫酸與過氧化氫的混合藥液是普遍使用的清洗藥液。目前較先進的清洗方法是通過噴淋清洗的方法，現場將加熱至規定溫度的硫酸與過氧化氫溶液在經過混合閥內按比例進行混合，以形成強氧化的硫酸過氧化氫溶液并噴在旋轉的工件上進行去膠，由于藥液直接排掉不再循環使用，不會造成交叉污染，去膠效果相對穩定。而在線配置清洗藥劑，需要將不同的藥劑分別儲存在各自指定的容器內，通過輸入管道上液泵將容器內的藥液送到混合閥內。目前容對藥液的補充，是采用人工方式進行補充，一方面所使用的藥液都是腐蝕性液體，稍操作不慎，就會造成對操作人員及設備的傷害，另一方面，也會對藥液造成污染，而影響清洗效果。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種結構簡單，能實現自動加液的SPM系統的自動加液機構

本實用新型為達到上述目的的技術方案是：一種SPM系統的自動加液機構，包括儲液瓶，其特征在于：所述儲液瓶在瓶口內安裝有管接頭連接件，所述的管接頭連接件上具有進液孔和出液孔，設置在儲液瓶內部的內進液管和外部的外進液管連接在管接頭連接件的進液孔上，設置在儲液瓶內部的內出液管和外部的外出液管連接在管接頭連接件的出液孔上，外進液管上安裝有液閥，儲液瓶外壁在上部設有上感應器、中下部設有下感應器，上感應器的輸出端和下感應器的輸出端分別與控制器連接，用于控制液閥啟閉的控制器與液閥連接。

本實用新型在儲液瓶的瓶口的管接頭連接件安裝有內、外進液管和內、外出液管，在儲液瓶外壁在上部和中下部分別設有上、下兩個感應器，通過上、下感應器來檢測儲液瓶內藥液存儲的下限量和上限量，上、下感應器將分別檢測的信號輸至控制器內，通過控制器使安裝在外進液管上的液閥啟閉，自動對儲液瓶內自動加注藥液。本實用新型通過管接頭連接件將進液管和出液管安裝在儲液瓶上，并通過安裝在儲液瓶上的上下感應器檢測瓶內藥液量，結構簡單，加藥液時為非接觸式，不會對藥劑產生污染，也提高了操作的安全性。

附圖說明

下面結合附圖對本實用新型的實施例作進一步的詳細描述。

圖1是本實用新型的SPM系統的自動加液機構的結構示意圖。

其中：1—儲液瓶，2—管接頭連接件，2-1—進氣孔，2-2—排氣孔，2-3—出液孔，2-4—進液孔，3—瓶蓋，4—單向閥，5—進氣管，6—排氣管，7—外出液管，8—外進液管，9—液閥，10—液泵，11—錐形密封套，12—鎖緊螺母，13—上感應器，14—控制器，15—下感應器，16—內進液管，17—內出液管。

具體實施方式

見圖1所示，本實用新型SPM系統的自動加液機構，包括儲液瓶1，儲液瓶1在瓶口內安裝有管接頭連接件2，該管接頭連接件2可旋接在儲液瓶1內或壓接進入儲液瓶1內，瓶蓋3安裝在儲液瓶1上以防止管接頭連接件2脫落，管接頭連接件2上具有進液孔2-4和出液孔2-3，設置在儲液瓶1內部的內進液管16和外部的外進液管8連接在管接頭連接件2的進液孔2-4上，設置在儲液瓶1內部的內出液管17和外部的外出液管7連接在管接頭連接件2的出液孔2-3上，外進液管8上安裝有液閥9，本實用新型的液閥9可采用常規的截止閥或碟閥等，通過控制器14液閥9的啟閉實現自動加藥的功能，而外出液管7上安裝有液泵10，通過液泵10將儲液瓶1內的藥液送入混合閥內，實現清洗藥液的配制。

見圖1所示，本實用新型儲液瓶1外壁在上部設有上感應器13、中下部設有下感應器15，上感應器13的輸出端和下感應器15的輸出端分別與控制器14連接，該控制器14可采用現有的微處理器，用于控制液閥9啟閉的控制器14與液閥9連接，通過控制器14控制液閥9動作，而實現自動加藥液。本實用新型的上感應器13和下感應器15可采用感應式接近開關，當儲液瓶1中的藥液液面下降到下感應器15的位置時，下感應器15會對儲液瓶1內藥液的感應而發出信號，通過控制器14使液閥9打開而加藥液；如果藥劑瓶中的藥液液面上升到上感應器13的位置，上感應器13會感應到液體的存在而發出信號停止加藥液，通過上感應器13和下感應器15檢測瓶內藥液液面信號傳至控制器14，通過控制器14控制液閥9啟閉。