[實用新型]一種無銦靶材綁定技術有效

申請號：	201420083244.6	申請日：	2014-02-26
公開（公告）號：	CN203947154U	公開（公告）日：	2014-11-19
發明（設計）人：	周航鋒;賀偉;侍進山;徐博文;李景;李信;陳武;萬祿兵	申請（專利權）人：	湖南中好科技有限公司
主分類號：	C23C14/35	分類號：	C23C14/35
代理公司：	湖南省婁底市興婁專利事務所 43106	代理人：	朱成實
地址：	410604 湖南省長沙市***	國省代碼：	湖南;43
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種無銦靶材綁定技術
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【權利要求書】：

1.一種無銦靶材綁定技術，其特征在于：它包括有基材（1），基材（1）頂部預設有若干個凸起或凹進的定位（2），靶材（3）底部設有與定位（2）相配合的卡位，并通過卡位裝配在基材（1）上；靶材（3）采用多段組合式結構；所述的基材（1）采用銅合金制作成型，其截面為階梯狀，階梯狀的底部階梯面為固定面，該固定面上設有固定螺孔（4）；所述的靶材（3）由三段結構組合成型，組合后的靶材（3）頂部預留有濺射槽（5）。

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