[實用新型]硅棒開斷裝置

有效

• 申請號: 201420076323.4
• 申請日: 2014-02-21
• 公開（公告）號: CN203739034U
• 公開（公告）日: 2014-07-30
• 發明（設計）人: 范桂林;李茂欣
• 申請（專利權）人: 上海磐盟電子材料有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 上海富石律師事務所 31265
• 代理人: 楊楠

技術領域

本實用新型涉及一種半導體材料的生產加工領域，尤其涉及一種硅棒開斷裝置。

背景技術

隨著電子、半導體、光伏產業的發展，各種晶體材料，特別是以單晶硅為代表的高科技附加值材料及其相關高技術產業的發展，成為當代信息技術產業的支柱，并使信息產業成為全球經濟發展中增長最快的先導產業。單晶硅作為一種極具潛能，亟待開發利用的高科技資源，正引起越來越多的關注和重視。與此同時，鑒于常規能源供給的有限性和環保壓力的增加，世界上許多國家正掀起開發利用太陽能的熱潮并成為各國制定可持續發展戰略斬重要內容。在跨入21世紀門檻后，世界大多數國家踴躍參與以至在全球范圍掀起了太陽能開發利用的“綠色能源熱”，一個廣泛的大規模的利用太陽能的時代正在來臨，太陽能級單晶硅產品也將因此炙手可熱。硅片是由硅棒開斷而成，現有技術中的硅棒切割成硅片，常常會由于切割角度或切割位置的偏差造成硅片合格率低的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種硅棒開斷裝置。

本實用新型所提供的硅棒開斷裝置，包括：框架、硅棒固定裝置和帶鋸（5），其特征在于：所述硅棒開斷裝置還包括一垂直檢測儀，所述垂直檢測儀設置在所述帶鋸（5）的上方。

所述框架包括底板（2）、頂板（1）、第一滑軌（6）和支撐桿（3）；所述第一滑軌（6）設置在所述底板（2）上；所述支撐桿（3）的底端通過所述第一滑軌（6）滑動連接在所述底板（2）上；所述頂板（1）固定在所述支撐桿（3）的頂部。所述第二滑軌與所述第一滑軌（6）相垂直且設置在所述頂板（1）上，所述帶鋸（5）通過所述第二滑軌滑動連接在所述頂板（1）上且與所述底板（2）相垂直。所述硅棒固定裝置包括沿所述第一滑軌（6）長度方向依次排列的底座、第一夾緊裝置和第二夾緊裝置；所述底座固定在所述底板（2）上且所述底座上設有一弧形凹槽。所述第一夾緊裝置和第二夾緊裝置均包括第一固定部件、第二固定部件和調節部件；所述第一固定部件和第二固定部件的底部均設有螺孔，所述調節部件包括螺桿和固定在螺桿端部的調節把手。

本實用新型所提供的硅棒開斷裝置，可保證開斷后硅片成品率高，提高生產效率，減少不良率和材料浪費，節省生產成本。

附圖說明

圖1為本實用新型實施例所述的硅棒開斷裝置結構示意圖。

具體實施方式

為使本實用新型實施例的目的、技術方案和優點更加清楚，下面將結合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領域普通技術人員在沒有做出創造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。

本實施例提供的硅棒開斷裝置，包括：框架、硅棒固定裝置和帶鋸5，其特征在于：所述硅棒開斷裝置還包括一垂直檢測儀，所述垂直檢測儀設置在所述帶鋸5的上方。本領域技術人員可以理解，通過所述垂直檢測儀可檢測硅棒與帶鋸5的夾角，保證二者保持垂直，以確保開斷后硅片成品率，提高生產效率，減少不良率和材料浪費，節省生產成本。

所述框架包括底板2、頂板1、第一滑軌6和支撐桿3；所述第一滑軌6設置在所述底板2上；所述支撐桿3的底端通過所述第一滑軌6滑動連接在所述底板2上；所述頂板1固定在所述支撐桿3的頂部。本領域技術人員可以理解，這樣可實現頂板1沿所述第一滑軌6的滑動，從而帶動所述帶鋸5沿第一滑軌6長度方向即硅棒的軸向方向滑動，便于對硅棒進行連續多次的切割，提高開斷效率。

所述第二滑軌與所述第一滑軌6相垂直且設置在所述頂板1上，所述帶鋸5通過所述第二滑軌滑動連接在所述頂板1上且與所述底板2相垂直。本領域技術人員可以理解，這樣可實現所述帶鋸5沿所述第二滑軌的長度方向即硅棒的徑向方向滑動，便于帶鋸5對硅棒進行切割開斷。

所述硅棒固定裝置包括沿所述第一滑軌6長度方向依次排列的底座、第一夾緊裝置和第二夾緊裝置；所述底座固定在所述底板2上且所述底座上設有一弧形凹槽。本領域技術人員可以理解，對硅棒進行切割時，首先將硅棒防止在所述底座上的凹槽中，在利用第一夾緊裝置和第二夾緊裝置將所述硅棒進行夾緊固定。通過第一滑軌6和第二滑軌調節所述帶鋸5的位置，保持帶鋸5在切割位置與硅棒相垂直，從而便于后續進行開斷切割。