[實用新型]一種測量全元素的X射線譜儀

有效

• 申請號: 201420071215.8
• 申請日: 2014-02-19
• 公開（公告）號: CN203705371U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 程琳;王君玲;李融武;潘秋麗;李崧;鄭東
• 申請（專利權）人: 北京師范大學
• 主分類號: G01N23/223
• 分類號: G01N23/223
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種測量全元素的X射線譜儀，其特征在于，所述X射線譜儀包括：

點光源X射線管和高壓電源(1)，毛細管X光透鏡(2)，五維樣品移動臺(3)，電子槍發出的電子束(4)，光學顯微鏡(5)，毛細管X光半透鏡(6)，半導體X射線探測器和電子學系統(7)和真空腔體(8)；其中，點光源X射線管和高壓電源(1)，光學顯微鏡(5)和半導體X射線探測器和電子學系統(7)固定在真空腔體的外壁上；毛細管X光透鏡(2)，五維樣品移動臺(3)，電子槍發出的電子束(4)和毛細管X光半透鏡(6)設置在真空腔體(8)的內部；

所述點光源X射線管和高壓電源(1)位于五維樣品移動臺(3)的左側的斜上方，所述點光源X射線管與水平面成45度角，發出的X射線通過毛細管X光透鏡(2)以45度的角度照射在所述五維移動平臺(3)上的待探測樣品上；

所述電子束(4)為5-10kV低壓電子束，垂直照射在樣品上的微區上；

所述毛細管X光半透鏡(6)與水平面成38°的角度接受樣品中元素激發出的特征X射線，其位于半導體X射線探測器和電子學系統(7)的前端，并且毛細管X光半透鏡(6)的小直徑端對準所述樣品待探測的微區域(9)，大直徑端對準半導體X射線探測器和電子學系統(7)，X射線以滿足在空心玻璃管內壁發射全反射的角度從毛細管X光半透鏡(4)的小直徑端進入空心玻璃管，在空心玻璃管的光滑內壁全反射的方式在毛細玻璃管的內部進行傳輸；

所述半導體X射線探測器和電子學系統(7)接收所述毛細管X光半透鏡(6)過濾后的X射線，產生的信號經過電子學系統處理后，顯示并存儲在計算機中；

計算機控制所述五維樣品移動平臺(3)可以移動或轉動樣品，以便于快速找到被測微區域，并且使得所述樣品的位置位于光學顯微鏡(5)聚焦點中心的位置。

2.如權利要求1所述的一種測量全元素的X射線譜儀，其特征在于，所述高壓電源為40-50kV。

3.如權利要求1所述的一種測量全元素的X射線譜儀，其特征在于，所述毛細管X光透鏡(2)將從X射線管出來的X射線匯聚成直徑在30-100微米左右的焦斑。

4.如權利要求1所述的一種測量全元素的X射線譜儀，其特征在于，所述電子束(4)的焦斑直徑為10微米。

5.如權利要求1所述的一種測量全元素的X射線譜儀，其特征在于，所述電子學系統包括前置放大器、主放大器和多道分析器。