[實(shí)用新型]一種熱偶固定裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420067335.0
• 申請(qǐng)日: 2014-02-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN203745101U
• 公開(kāi)（公告）日: 2014-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 譚瑞雷;董金衛(wèi)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北京七星華創(chuàng)電子股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01K7/02
• 分類(lèi)號(hào): G01K7/02
• 代理公司: 北京路浩知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11002
• 代理人: 孟憲功

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體熱處理設(shè)備領(lǐng)域，特別是涉及一種熱偶固定裝置。

背景技術(shù)

在現(xiàn)有的半導(dǎo)體立式熱處理設(shè)備中，氣體從進(jìn)氣管62經(jīng)過(guò)外點(diǎn)火裝置6加熱進(jìn)入工藝腔7，在工藝腔7內(nèi)對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行熱處理，在此過(guò)程中氣體的溫度對(duì)整個(gè)熱處理的過(guò)程都很重要，需要嚴(yán)格的監(jiān)控，所以會(huì)用熱偶4伸入到外點(diǎn)火裝置6內(nèi)的爐絲61處的監(jiān)測(cè)溫度，熱偶在工作時(shí)需要保持穩(wěn)定的狀態(tài)，所以一個(gè)良好的熱偶固定裝置對(duì)整個(gè)熱處理工藝過(guò)程就顯得尤其重要。目前多是使用如圖1所示的熱偶固定裝置固定熱偶，該熱偶固定裝置是用帶有半圓槽及螺紋孔的第一金屬固定塊51a和第二金屬固定塊51b相配合來(lái)固定熱偶4，安裝熱偶4時(shí)，先將第一金屬固定塊51a和第二金屬固定塊51b的兩個(gè)半圓槽組成用于穿入熱偶的圓孔，用螺栓52或螺釘稍微固定第一金屬固定塊51a和第二金屬固定塊51b，然后將熱偶4依次穿過(guò)兩金屬固定塊的半圓槽組成的圓孔和外點(diǎn)火裝置6，直到外點(diǎn)火裝置6內(nèi)的爐絲61處，再用扳手將金屬固定塊兩邊的螺栓52或螺釘擰緊，使兩金屬固定塊夾緊熱偶4。由于熱偶4是一種脆性材料，在擰緊螺栓52或螺釘時(shí)，擰的過(guò)松易使熱偶松動(dòng)，不能更好的工作，擰的過(guò)緊則金屬固定塊易將熱偶夾裂，而且在擰緊螺栓52或螺釘?shù)倪^(guò)程中還需要額外的工具，造成安裝不便。

因此，需要提供一種安裝方便、不易夾裂熱偶的熱偶固定裝置。

實(shí)用新型內(nèi)容

（一）要解決的技術(shù)問(wèn)題

本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是解決現(xiàn)有熱偶固定安裝過(guò)程中，需要額外安裝工具，且易將熱偶夾裂的問(wèn)題。

（二）技術(shù)方案

為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種新型的熱偶固定裝置，包括壓塊、夾持件和固定件，所述壓塊的內(nèi)部依次設(shè)有螺紋孔、錐孔及通孔，所述夾持件包括底座和與底座連接的夾持爪，所述底座與固定件的一端連接，所述夾持爪抵壓在錐孔的錐面上，所述固定件與壓塊螺紋連接，熱偶依次穿過(guò)通孔、夾持件及固定件。

其中，所述固定件上與底座連接的一端設(shè)有凹孔，所述底座位于所述凹孔內(nèi)。

其中，所述夾持爪的數(shù)量至少為兩個(gè)。

其中，所述夾持爪的內(nèi)側(cè)設(shè)有一個(gè)或多個(gè)凹槽。

其中，所述夾持爪具有彈性。

其中，所述夾持爪的材料為橡膠、氟橡膠或塑料。

其中，所述錐孔的錐度為10-20度。

（三）有益效果

本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案所提供的熱偶固定裝置，包括壓塊、夾持件和固定件，壓塊的內(nèi)部依次設(shè)有螺紋孔、錐孔及通孔，夾持件包括底座和與底座連接的夾持爪，底座與固定件的一端連接，夾持爪抵壓在錐孔的錐面上，固定件與壓塊螺紋連接，熱偶依次穿過(guò)通孔、夾持件及固定件。本實(shí)用新型壓塊與固定件采用螺紋連接，避免在安裝固定過(guò)程中還需使用其它輔助工具，使安裝更為方便；夾持爪夾持熱偶抵壓在錐孔錐面上，利用錐度調(diào)節(jié)夾持爪夾持熱偶的松緊度，使在固定熱偶時(shí)不易磕碰、夾裂熱偶，安裝更為安全。

附圖說(shuō)明

圖1是現(xiàn)有一種熱偶固定裝置使用時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型一種熱偶固定裝置的分解狀態(tài)示意圖;

圖3是本實(shí)用新型一種熱偶固定裝置夾緊熱偶時(shí)的剖面示意圖；

圖4是本實(shí)用新型一種熱偶固定裝置夾持件的立體示意圖；

圖中，1、固定件；2、壓塊；3、夾持件；4、熱偶；11、凹孔；21、通孔；22、錐孔；23，螺紋孔；31、凹槽；32、夾持爪；33、底座；51a、第一金屬固定塊；51b、第二金屬固定塊；52、螺栓；6、外點(diǎn)火裝置；61、爐絲；62、進(jìn)氣管；7、工藝腔室。

具體實(shí)施方式

下面結(jié)合附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式作進(jìn)一詳細(xì)描述。以下實(shí)例用于說(shuō)明本實(shí)用新型，但不用來(lái)限制本實(shí)用新型的范圍。

在本實(shí)用新型的描述中，除非另有說(shuō)明，“多個(gè)”的含義是兩個(gè)或兩個(gè)以上；除非另有說(shuō)明，“缺口狀”的含義為除截面平齊外的形狀。術(shù)語(yǔ)“上”、“下”、“左”、“右”、“內(nèi)”、“外”、“前端”、“后端”、“頭部”、“尾部”等指示的方位或位置關(guān)系為基于附圖所示的方位或位置關(guān)系，僅是為了便于描述本實(shí)用新型和簡(jiǎn)化描述，而不是指示或暗示所指的裝置或元件必須具有特定的方位、以特定的方位構(gòu)造和操作，因此不能理解為對(duì)本實(shí)用新型的限制。此外，術(shù)語(yǔ)“第一”、“第二”、“第三”等僅用于描述目的，而不能理解為指示或暗示相對(duì)重要性。