[實用新型]靜電吸附裝置有效
| 申請號： | 201420064864.5 | 申請日： | 2014-02-14 |
| 公開（公告）號： | CN203791055U | 公開（公告）日： | 2014-08-27 |
| 發明（設計）人： | 王健 | 申請（專利權）人： | 王健 |
| 主分類號： | B03C3/40 | 分類號： | B03C3/40 |
| 代理公司： | 佛山市粵順知識產權代理事務所 44264 | 代理人： | 唐強熙;鄒濤 |
| 地址： | 528300 廣東省佛山市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靜電 吸附 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種靜電吸附裝置，包括正靜電片（1）和負靜電片（2），其特征是正靜電片（1）中設置有第一碳電極（3），負靜電片（2）中設置有第二碳電極（4）。
2.根據權利要求1所述的靜電吸附裝置，其特征是所述正靜電片（1）上設置有第一齒尖（1.1），負靜電片（2）上設置有第二齒尖（2.1），第一齒尖（1.1）與第二齒尖（2.1）相向設置。
3.根據權利要求1所述的靜電吸附裝置，其特征是所述正靜電片（1）和負靜電片（2）構成空氣通道（5），第一齒尖（1.1）與第二齒尖（2.1）位于空氣通道（5）中。
4.根據權利要求1至3任一所述的靜電吸附裝置，其特征是所述正靜電片（1）和負靜電片（2）分別為添加有半導體的塑料制成。
5.根據權利要求4所述的靜電吸附裝置，其特征是所述正靜電片（1）與負靜電片（2）之間設置有中間件（6）；該中間件（6）的一端與正靜電片（1）相接，中間件（6）的另一端與負靜電片（2）相接觸；或者，中間件（6）的一端與負靜電片（2）相接，中間件（6）的另一端與正靜電片（1）相接觸。
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