[實用新型]一種晶片漿料預處理裝置

有效

• 申請號: 201420064527.6
• 申請日: 2014-02-13
• 公開（公告）號: CN203622218U
• 公開（公告）日: 2014-06-04
• 發明（設計）人: 廖波;林文杰;李燁
• 申請（專利權）人: 南京京晶光電科技有限公司
• 主分類號: B24B57/02
• 分類號: B24B57/02
• 代理公司: 南京眾聯專利代理有限公司 32206
• 代理人: 顧進

技術領域

本實用新型涉及一種機械設備，尤其是一種晶片漿料預處理裝置。

背景技術

晶片研磨中往往采用研磨漿料對其進行處理。現有技術中往往直接將研磨漿料導入晶片研磨機臺中對其進行研磨，但研磨漿料由于質量、氣候、環境等原因，其內部研磨粉料可能出現結塊，分布不均勻等現象，其均會影響晶片研磨的效率與質量；同時在寒冷環境下，研磨漿料的溫度過低往往亦會對晶片造成一定的非正常破壞。

實用新型內容

本發明要解決的技術問題是提供一種晶片漿料預處理裝置，其可在晶片研磨漿料倒入研磨機臺之前對其進行預處理，使其內部研磨粉料分布更為均勻。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種晶片漿料預處理裝置，其包括箱型機體，箱型機體上設置有漿料入口與漿料出口；所述漿料入口通過漿料流入管道連通至設置在箱型機體內部的漿料桶內，漿料桶上設置有連通至漿料出口的漿料流出管道，漿料流出管道內部設置有漿料流出閥，漿料流出閥與漿料桶之間設置有漿料抽取泵；所述漿料桶內部設置有漿料攪拌裝置。

作為本實用新型的一種改進，所述漿料攪拌裝置由設置在箱型機體內部的電機，與電機相連接的攪拌棒，以及設置在攪拌棒上的多片攪拌葉片構成。

作為本實用新型的一種改進，所述攪拌棒采用T型攪拌棒；所述T型攪拌棒上至少設置有3片攪拌葉片，其沿攪拌棒軸向均勻分布。采用上述設計，攪拌棒的T型結構與攪拌葉片同時對漿料進行攪拌，攪拌葉片沿攪拌棒軸向分布可有效對漿料箱內的漿料進行攪拌，以使其內部研磨粉料分布更為均勻。

作為本實用新型的一種改進，所述漿料桶內壁設置有溫度傳感器，以及與溫度傳感器電性連接的加熱器，加熱器可根據溫度傳感器檢測到的漿料溫度適時的對漿料進行加熱，避免漿料過冷在后續研磨工作中研磨效率下降，甚至有損晶片。

作為本實用新型的另一種改進，所述漿料桶內壁設置有壓力傳感器，漿料桶外壁設置有漿料余量報警器；所述壓力傳感器與漿料余量報警器之間采用電性連接，其可在漿料桶內漿料過少時進行警報，避免研磨機臺在少漿甚至無漿狀態下工作，從而損壞機臺。

作為本實用新型的另一種改進，所述壓力傳感器與漿料桶底部間的距離至少為漿料桶高度的1/4，其可有效確保漿料桶內漿料的體積，并在對其添加漿料之前足以持續向研磨機臺輸送漿料。

作為本實用新型的另一種改進，所述漿料抽取泵、溫度傳感器以及加熱器、壓力傳感器以及漿料余量報警器均由設置在箱型機體底部的電源裝置對其進行控制。

作為本實用新型的另一種改進，所述漿料出口處設置有過濾網，所述漿料流出管道在過濾網對應位置設置有掀蓋，其可過濾去研磨漿料中的較大粉末顆粒，以避免其研磨效果不佳，同時可通過掀蓋對過濾網過濾下的研磨粉料進行清理，避免其堵塞管道。

上述晶片漿料預處理裝置，其漿料出口與晶片研磨機臺相連接；將研磨漿料自漿料入口導入后，其沿漿料流入管道流入漿料桶內，漿料攪拌裝置對其進行攪拌；同時，溫度傳感器實時監測漿料溫度，當其溫度過低時對其加熱；壓力傳感器可檢測漿料體積，并通過報警器提醒添加漿料。當漿料處理完成后，漿料流出閥開啟，漿料抽取泵將漿料桶內的漿料輸送至研磨機臺內。

采用上述技術方案的晶片漿料預處理裝置，其可在漿料倒入研磨機臺之前對其進行攪拌、加熱等處理工作，使其的均勻度、溫度均有所改善，從而在后續的研磨工作中研磨效率得以顯著提高；同時，上述晶片漿料預處理裝置僅需將漿料導入漿料入口即可自行工作，無需繁雜人工，達到便捷精確的加工效果。

附圖說明

圖1為本實用新型示意圖；

圖2為本實用新型中箱型機體后視圖；

圖3為本實用新型中漿料攪拌裝置示意圖；

圖4為本實用新型中攪拌棒截面圖；

附圖標記說明：

1—箱型機體、2—漿料入口、3—漿料出口、4—漿料流入管道、5—漿料桶、6—漿料流出管道、7—漿料流出閥、8—漿料抽取泵、9—電機、10—攪拌棒、11—攪拌葉片、12—溫度傳感器、13—加熱器、14—壓力傳感器、15—漿料余量報警器、16—電源裝置、17—過濾網、18—掀蓋。

具體實施方式

下面結合附圖和具體實施方式，進一步闡明本實用新型，應理解下述具體實施方式僅用于說明本實用新型而不用于限制本實用新型的范圍。