[實用新型]一種振鏡調(diào)平裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420062176.5
• 申請日: 2014-02-11
• 公開（公告）號: CN203751539U
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉雪松;葉超平;張世民;李立橋;楊錦彬;高云峰
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市大族激光科技股份有限公司
• 主分類號: B23K26/70
• 分類號: B23K26/70;G01B5/24
• 代理公司: 深圳市君盈知識產(chǎn)權(quán)事務(wù)所(普通合伙) 44315
• 代理人: 陳琳

1.一種振鏡調(diào)平裝置，包括檢測裝置和調(diào)節(jié)裝置，其特征在于：所述調(diào)節(jié)裝置還包括實現(xiàn)振鏡與工作平臺平行度調(diào)節(jié)的第一調(diào)節(jié)單元和第二調(diào)節(jié)單元，以及連接所述第一調(diào)節(jié)單元和第二調(diào)節(jié)單元的連接裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡調(diào)平裝置，其特征在于：所述連接裝置包括兩塊一體式垂直設(shè)置的立板，其中一塊立板上設(shè)有通孔。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡調(diào)平裝置，其特征在于：所述調(diào)節(jié)裝置還包括固定在Z軸工作臺上的支撐板和用于安裝振鏡的連接板。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的振鏡調(diào)平裝置，其特征在于：所述第一調(diào)節(jié)單元安裝在所述支撐板上，所述連接板安裝在所述第二調(diào)節(jié)單元上。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡調(diào)平裝置，其特征在于：所述第一調(diào)節(jié)單元和第二調(diào)節(jié)單元均包括基板、設(shè)置于所述基板上的旋轉(zhuǎn)臺、調(diào)節(jié)所述旋轉(zhuǎn)臺在所述基板上轉(zhuǎn)動的調(diào)節(jié)旋鈕，以及鎖緊所述旋轉(zhuǎn)臺和基板的鎖緊裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的振鏡調(diào)平裝置，其特征在于：所述第一調(diào)節(jié)單元的旋轉(zhuǎn)臺的軸線與Y軸平行，所述第二調(diào)節(jié)單元的旋轉(zhuǎn)臺的軸線與X軸平行。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的振鏡調(diào)平裝置，其特征在于：所述連接板和第二調(diào)節(jié)單元均設(shè)有可使激光通過的通孔，該通孔與所述連接裝置立板通孔及振鏡入光口同軸。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡調(diào)平裝置，其特征在于：所述的振鏡固定設(shè)置有一振鏡校正塊。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的振鏡調(diào)平裝置，其特征在于：所述檢測裝置包括千分表，該千分表固定在一X-Y軸工作平臺上。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的振鏡調(diào)平裝置，其特征在于：所述千分表的表頭與所述振鏡校正塊相抵靠。