[實用新型]一種多晶硅還原尾氣中的氯化氫的檢測裝置有效
| 申請號： | 201420057529.2 | 申請日： | 2014-01-29 |
| 公開（公告）號： | CN203965272U | 公開（公告）日： | 2014-11-26 |
| 發明（設計）人： | 郭增昌;劉樂通 | 申請（專利權）人： | 新特能源股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N7/00 | 分類號： | G01N7/00 |
| 代理公司： | 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112 | 代理人： | 羅建民;鄧伯英 |
| 地址： | 830011 新疆維吾爾自治區烏魯木齊市烏魯*** | 國省代碼： | 新疆;65 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 多晶 還原 尾氣 中的 氯化氫 檢測 裝置 | ||
1.一種多晶硅還原尾氣中的氯化氫的檢測裝置，其特征在于，包括引入多晶硅還原尾氣的進氣引管、冷凝器、第一收集器、第二收集器、排氣引管、第一流量計、第二流量計、第三流量計，所述進氣引管上設置有所述第一流量計，用于得到總流量Q，所述進氣引管與所述冷凝器的一端連接，所述冷凝器的另外一端與用于收集冷凝液的所述第一收集器連接，所述第一收集器再通過導管與用于盛放堿液的所述第二收集器連接，所述導管上設置有所述第二流量計，用于得到流量Q1，所述第二收集器與所述排氣引管連接，所述排氣引管上設置有所述第三流量計，用于得到流量Q2。?
2.根據權利要求1所述的多晶硅還原尾氣中的氯化氫的檢測裝置，其特征在于，所述進氣引管上設置有用于控制所述進氣引管與所述冷凝器連通的進樣閥。?
3.根據權利要求1所述的多晶硅還原尾氣中的氯化氫的檢測裝置，其特征在于，所述冷凝器為螺旋冷凝管或直形冷凝管。?
4.根據權利要求1所述的多晶硅還原尾氣中的氯化氫的檢測裝置，其特征在于，還包括計算單元，所述計算單元分別與所述第一流量計、所述第二流量計、所述第三流量計電連接，所述第一流量計的讀數為Q，所述第二流量計的讀數為Q1，所述第三流量計的讀數為Q2，所述計算單元得到所述第二流量計和所述第三流量計的差值信號為(Q1-Q2)，并計算出氯化氫的摩爾含量為(Q1-Q2)/Q。?
5.根據權利要求4所述的多晶硅還原尾氣中的氯化氫的檢測裝置，其特征在于，所述計算單元為減法控制器。?
6.根據權利要求4所述的多晶硅還原尾氣中的氯化氫的檢測裝置，其特征在于，還包括顯示單元，所述顯示單元與所述計算單元電連接，所述顯示單元用于顯示所述計算單元計算出的所述氯化氫的摩爾含量為(Q1-Q2)/Q。?
7.根據權利要求4所述的多晶硅還原尾氣中的氯化氫的檢測裝置，其特征在于，還包括報警單元，所述報警單元與所述計算單元電連接，所述計算單元內預設有氯化氫的摩爾含量的上限值和下限值的預設值，當所述計算單元計算出的氯化氫的摩爾含量超過預設值時，則所述計算單元發送報警信號給所述報警單元，所述報警單元發出報警信號。?
8.根據權利要求1所述的多晶硅還原尾氣中的氯化氫的檢測裝置，其特征在于，還包括尾氣收集器，該尾氣收集器與所述排氣引管連接，所述尾氣收集器用于收集從所述排氣引管排出的尾氣。?
9.根據權利要求1所述的多晶硅還原尾氣中的氯化氫的檢測裝置，其特征在于，所述進氣引管與多晶硅還原爐的排氣口連通。?
10.根據權利要求1所述的多晶硅還原尾氣中的氯化氫的檢測裝置，其特征在于，所述冷凝器的冷凝溫度為：-20～28℃。?
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于新特能源股份有限公司，未經新特能源股份有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201420057529.2/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
