[實用新型]一種Z軸加速度計

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420050235.7
• 申請日: 2014-01-26
• 公開（公告）號: CN203705471U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張俊德
• 申請（專利權(quán)）人: 歌爾聲學(xué)股份有限公司
• 主分類號: G01P15/125
• 分類號: G01P15/125
• 代理公司: 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種Z軸加速度計，其特征在于，包括：

質(zhì)量塊，在Z軸加速度輸入時所述質(zhì)量塊能夠在Z軸方向做直線運動；

靜電梳齒驅(qū)動器，包括：多個與Z軸平行的第一極板和第二極板，所述第一極板與第二極板間隔分布，所述第一極板固定在所述質(zhì)量塊；

與所述靜電梳齒驅(qū)動器相匹配的間隙型電容，包括：固定電極以及可在在工作平面內(nèi)直線運動的可動電極；

其中，所述第二極板均與所述可動電極連接，所述第二極板在所述質(zhì)量塊運動時用于驅(qū)動所述可動電極運動在所述工作平面上直線運動；Z軸垂直于所述工作平面。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Z軸加速度計，其特征在于，所述質(zhì)量塊未設(shè)置所述第一極板的兩側(cè)均設(shè)置有第一彈性裝置，所述第一彈性裝置具有Z軸自由度，能夠使得所述質(zhì)量塊在Z軸方向做直線運動。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的Z軸加速度計，其特征在于，所述第一彈性裝置為彈性桿或是彈簧。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Z軸加速度計，其特征在于，還包括：

與所述可動電極連接的第二彈性裝置，所述第二彈性裝置具有平行于所述可動電極運動方向的自由度，在不加工作電壓情況下，所述第二彈性裝置用于控制所述可動電極處于設(shè)定的初始位置。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的Z軸加速度計，其特征在于，所述第二彈性裝置為設(shè)置在所述工作平面上的彈簧，所述彈簧的振動方向與所述運動方向平行。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的Z軸加速度計，其特征在于，所述Z軸加速度計包括：

對稱設(shè)置在所述質(zhì)量塊兩側(cè)的兩個相同的靜電梳齒驅(qū)動器；

對稱設(shè)置在所述質(zhì)量塊兩側(cè)的兩個相同的間隙型電容；

其中，所述靜電梳齒驅(qū)動器與所述間隙型電容一一對應(yīng)。