[實用新型]一種能夠降低單晶硅晶棒頭部氧含量的單晶爐

有效

• 申請號: 201420048722.X
• 申請日: 2014-01-24
• 公開（公告）號: CN203715791U
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: 趙會剛;李德建
• 申請（專利權）人: 河北寧通電子材料有限公司
• 主分類號: C30B29/06
• 分類號: C30B29/06;C30B27/02
• 代理公司: 河北東尚律師事務所 13124
• 代理人: 王文慶

1.一種能夠降低單晶硅晶棒頭部氧含量的單晶爐，包括爐體(1)以及設在爐體(1)中的導流筒(3)和加熱器(4)，爐體(1)的下部設有抽氣孔(2)；其特征在于：所述抽氣孔(2)的頂端與加熱器(4)的下端面平齊；所述導流筒(3)的下端口的外邊緣設有30°～40°的圓形倒角(3-4)。?

2.根據權利要求1所述的一種能夠降低單晶硅晶棒頭部氧含量的單晶爐，其特征在于：所述圓形倒角(3-4)為36°。?

3.根據權利要求1所述的一種能夠降低單晶硅晶棒頭部氧含量的單晶爐，其特征在于：所述導流筒(3)由內筒(3-1)、外筒(3-3)和設在內筒(3-1)與外筒(3-3)之間的保溫層(3-2)組成；內筒(3-1)的上端口與外筒(3-3)的上端口密閉聯接，內筒(3-1)的下端口與外筒(3-3)的下端口密閉聯接，并且內筒(3-1)的下端口面位于外筒(3-3)的下端口面的上方，圓形倒角(3-4)設在外筒(3-3)下端口的外邊緣上。?