[實用新型]石墨舟及其石墨舟舟鉤有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201420048438.2 | 申請日: | 2014-01-23 |
| 公開(公告)號: | CN203690270U | 公開(公告)日: | 2014-07-02 |
| 發(fā)明(設計)人: | 高四才;陳會松;劉雪姣 | 申請(專利權)人: | 英利能源(中國)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/673 | 分類號: | H01L21/673;H01L21/683 |
| 代理公司: | 北京康信知識產(chǎn)權代理有限責任公司 11240 | 代理人: | 吳貴明;張永明 |
| 地址: | 071051 河*** | 國省代碼: | 河北;13 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 石墨 及其 舟舟鉤 | ||
1.一種石墨舟舟鉤,所述石墨舟舟鉤包括舟鉤本體(10)和硅片支撐鉤(20),所述硅片支撐鉤(20)固定在所述舟鉤本體(10)的兩側,其特征在于,所述硅片支撐鉤(20)的頂端具有上端朝向所述舟鉤本體(10)的方向傾斜的傾斜切面。
2.根據(jù)權利要求1所述的石墨舟舟鉤,其特征在于,所述硅片支撐鉤(20)的所述傾斜切面的傾斜方向與豎直方向的夾角為45度。
3.根據(jù)權利要求1所述的石墨舟舟鉤,其特征在于,所述舟鉤本體(10)上設置有支架安裝槽(30),且所述支架安裝槽(30)位于所述舟鉤本體(10)的所述兩側之間。
4.根據(jù)權利要求3所述的石墨舟舟鉤,其特征在于,所述支架安裝槽(30)的開口方向與所述硅片支撐鉤(20)的支撐方向相同。
5.根據(jù)權利要求3所述的石墨舟舟鉤,其特征在于,所述舟鉤本體(10)的兩側均設置有折疊固定桿(40),所述折疊固定桿(40)設置在所述舟鉤本體(10)的靠近所述支架安裝槽(30)的開口的一端,且所述折疊固定桿(40)沿遠離且垂直于所述支架安裝槽(30)的方向延伸。
6.根據(jù)權利要求5所述的石墨舟舟鉤,其特征在于,所述舟鉤本體(10)包括兩個豎直桿(11)和連接所述兩個豎直桿的水平桿(12),且所述折疊固定桿(40)設置在所述豎直桿的頂部,所述硅片支撐鉤(20)設置在所述豎直桿的底部。
7.根據(jù)權利要求6所述的石墨舟舟鉤,其特征在于,所述豎直桿(11)上還設置有折疊限位槽(50),且所述折疊限位槽(50)位于所述折疊固定桿(40)與所述硅片支撐鉤(20)之間。
8.根據(jù)權利要求5所述的石墨舟舟鉤,其特征在于,所述舟鉤本體(10)的截面為U形。
9.一種石墨舟,包括硅片支架,其特征在于,所述石墨舟還包括權利要求1至8中的任一項所述的石墨舟舟鉤,其中,所述石墨舟舟鉤安裝在所述硅片支架上。
10.根據(jù)權利要求9所述的石墨舟,其特征在于,所述硅片支架上設置有與所述石墨舟舟鉤的支架安裝槽(30)相配合的舟鉤安裝槽。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





