[實(shí)用新型]外延片生產(chǎn)用氮?dú)飧稍锵?/span>有效

申請(qǐng)?zhí)枺?/td>	201420047835.8	申請(qǐng)日：	2014-01-24
公開（公告）號(hào)：	CN203744662U	公開（公告）日：	2014-07-30
發(fā)明（設(shè)計(jì)）人：	鄒崇生;金秋聯(lián);顧廣安	申請(qǐng)（專利權(quán)）人：	上海晶盟硅材料有限公司
主分類號(hào)：	F26B9/06	分類號(hào)：	F26B9/06;F26B21/00
代理公司：	上海脫穎律師事務(wù)所 31259	代理人：	李強(qiáng)
地址：	201707 上海市青浦***	國(guó)省代碼：	上海;31
權(quán)利要求書：	查看更多	說(shuō)明書：	查看更多
摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	外延生產(chǎn) 氮?dú)?/a> 干燥箱
鉆瓜網(wǎng) 技術(shù)展會(huì) 專利詞庫(kù) 專利權(quán)人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【權(quán)利要求書】：

1.一種外延片生產(chǎn)用氮?dú)飧稍锵洌涮卣髟谟冢◣в猩w的箱體(1)，所述箱體(1)為中空結(jié)構(gòu)，所述箱體(1)側(cè)壁上設(shè)有一個(gè)與氣源相連接的進(jìn)氣口(11)，所述箱體(1)側(cè)壁上還設(shè)有一個(gè)與排氣裝置相連接的排氣口(12)；所述箱體(1)內(nèi)部設(shè)有向所述箱體內(nèi)部送氣的送氣裝置(2)，所述送氣裝置(2)一端與進(jìn)氣口(11)相連通，所述送氣裝置(2)上間隔設(shè)有多個(gè)噴氣口(21)；所述噴氣口(21)為三個(gè)以上。?

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片生產(chǎn)用氮?dú)飧稍锵洌涮卣髟谟冢鏊蜌庋b置(2)為管狀結(jié)構(gòu)。?

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的外延片生產(chǎn)用氮?dú)飧稍锵洌涮卣髟谟冢鱿潴w(1)內(nèi)部還設(shè)有向箱體內(nèi)部噴射離子的離子發(fā)生器(3)。?

下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會(huì)員可以免費(fèi)下載。

免登錄下載普通用戶下載升級(jí)VIP會(huì)員，免費(fèi)下載

該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于上海晶盟硅材料有限公司，未經(jīng)上海晶盟硅材料有限公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201420047835.8/1.html，轉(zhuǎn)載請(qǐng)聲明來(lái)源鉆瓜專利網(wǎng)。