[實用新型]多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置

有效

• 申請號: 201420043338.0
• 申請日: 2014-01-23
• 公開（公告）號: CN203680563U
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發明（設計）人: 陳超;胡喬帆;王進保;呂智;張昌龍;林峰;謝志剛;秦建新;李東平
• 申請（專利權）人: 中國有色桂林礦產地質研究院有限公司
• 主分類號: B28D5/04
• 分類號: B28D5/04
• 代理公司: 桂林市持衡專利商標事務所有限公司 45107
• 代理人: 廖世傳

1.多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，包括切割多晶硅錠（3）的金剛石線鋸機構，其特征在于：所述金剛石線鋸機構包括環形金剛石鋸絲（1），至少兩條以上環形金剛石鋸絲（1）分別由各自對應設置的導輪組張緊運轉而形成X向相互平行的一組切割面，至少兩條以上環形金剛石鋸絲（1）分別由各自對應設置的導輪組張緊而形成Y向相互平行的另一組切割面，兩組切割面上的X向金剛石鋸絲（1）線族和Y向金剛石鋸絲（1）線族交叉形成方格形切割網。

2.根據權利要求1所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：所述X向金剛石鋸絲（1）線族同處于一個平面上，所述Y向金剛石鋸絲（1）線族同處于另一個平面上。

3.根據權利要求2所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：兩個平面的間距為5mm～20mm。

4.根據權利要求1～3中任意一項所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：所述導輪組包括兩個以上導輪（2）。

5.根據權利要求4所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：兩個以上導輪（2）中包括一個主動輪。

6.根據權利要求5所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：同組切割面各導輪組中的主動輪位置相對應，且同軸固連于傳動軸上。

7.根據權利要求1～3中任意一項所述的多晶硅錠開方金剛石線鋸裝置，其特征在于：所述X向金剛石鋸絲（1）線族的線間距相等，Y向金剛石鋸絲（1）線族的線間距相等。