[實(shí)用新型]一種機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)及機(jī)柜

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201420033997.6
• 申請(qǐng)日: 2014-01-20
• 公開（公告）號(hào): CN203788616U
• 公開（公告）日: 2014-08-20
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李東升;魏小兵
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): H05K7/16
• 分類號(hào): H05K7/16
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時(shí)云

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)及機(jī)柜。

背景技術(shù)

機(jī)柜作為光刻機(jī)的重要組成部分，例如電氣控制柜、環(huán)境控制柜等，其質(zhì)量和體積一般都較大。當(dāng)需要維護(hù)光刻機(jī)的內(nèi)部世界時(shí)，往往需要挪動(dòng)沉重的機(jī)柜，直接搬運(yùn)需要費(fèi)很大的力氣?，F(xiàn)在大部分光刻機(jī)的機(jī)柜都是獨(dú)立放置于地面上，與整機(jī)框架相互獨(dú)立，而且與整機(jī)框架的間隙較大，往往造成整機(jī)結(jié)構(gòu)不夠緊湊，占用了較大的空間。轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)作為一種常見的結(jié)構(gòu)，被廣泛應(yīng)用于日常生活和機(jī)械產(chǎn)品中，其中鉸鏈作為一種最常見的轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，例如柜門、門板等，但是大多數(shù)鉸鏈多為鈑金件，承載能力非常有限，只能用于質(zhì)量較輕的物體的轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)于質(zhì)量和體積較大的機(jī)柜，普通的鉸鏈很難滿足要求。

光刻機(jī)在運(yùn)行一段時(shí)間后，往往需要定期維護(hù)光刻機(jī)的內(nèi)部世界以及機(jī)柜內(nèi)側(cè)?，F(xiàn)在常見的光刻機(jī)移動(dòng)機(jī)柜的方法都是采用滑軌的方式，首先在機(jī)柜底面安裝兩排滑軌，維護(hù)光刻機(jī)內(nèi)部世界時(shí)，首先將機(jī)柜沿著導(dǎo)軌槽拉出一段距離，然后工作人員才能進(jìn)入內(nèi)部維護(hù)。由于一般的機(jī)柜質(zhì)量和體積很大，拉動(dòng)機(jī)柜需要很大的力氣，如果再加上地面不平的話，拉動(dòng)機(jī)柜的過程中很容易造成機(jī)柜傾覆，造成設(shè)備和人員的損毀。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型提供一種機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)及機(jī)柜，以解決光刻機(jī)中質(zhì)量和體積較大的機(jī)柜移動(dòng)困難的問題。

為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型提供一種機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，包括：金屬框架，與不可移動(dòng)機(jī)柜框架固定，所述金屬框架上還設(shè)有供鉸接的兩個(gè)通孔；

轉(zhuǎn)動(dòng)裝置，所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝置的一段固定在可移動(dòng)的機(jī)柜框架上；另一段為“T”字結(jié)構(gòu)，兩側(cè)延伸出的轉(zhuǎn)動(dòng)軸體分別伸入到所述金屬框架的通孔中，形成鉸接。

進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝置由獨(dú)立的轉(zhuǎn)動(dòng)板和獨(dú)立的轉(zhuǎn)動(dòng)軸組成：所述轉(zhuǎn)動(dòng)板的一端設(shè)置有通孔，另一端固定在可移動(dòng)的機(jī)柜框架上；所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸，穿過所述轉(zhuǎn)動(dòng)板的通孔與所述金屬框架的通孔，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的兩頭與所述金屬框架固定設(shè)置，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸的中間部分截面形狀與所述轉(zhuǎn)動(dòng)板通孔形狀相匹配且有空隙。

進(jìn)一步地，如上所形成的空隙，可以用以填充阻尼油，阻尼油為現(xiàn)有技術(shù)。

進(jìn)一步地，所述金屬框架包括第一固定板以及第二固定板，所述第一固定板為“U”型結(jié)構(gòu)，所述第二固定板與所述第一固定板固定連接，使所述金屬框架形成一封閉結(jié)構(gòu)，所述第二固定板與所述機(jī)柜框架固定。

進(jìn)一步地，所述金屬框架還包括兩個(gè)第三固定板，所述第一固定板和所述第二固定板通過所述第三固定板固定。

進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸為調(diào)心球軸承。

進(jìn)一步地，所述第三固定板上具有安裝孔，轉(zhuǎn)動(dòng)軸體安裝至所述安裝孔中。

進(jìn)一步地，所述金屬框架還包括第四固定板，所述第二固定板通過所述第四固定板與所述機(jī)柜框架固定。

進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板為“G”型，所述通孔設(shè)置在所述“G”型轉(zhuǎn)動(dòng)板短臂的一端，所述“G”型轉(zhuǎn)動(dòng)板長(zhǎng)臂的一端固定在活動(dòng)機(jī)柜框架上。

進(jìn)一步地，所述轉(zhuǎn)動(dòng)板的通孔的形狀為腰型孔、三角型孔、方形孔或多邊形孔，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸中部的形狀與所述轉(zhuǎn)動(dòng)板的通孔的形狀相匹配。

本實(shí)用新型還提供了一種機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)的機(jī)柜，所述金屬框架固定在不可移動(dòng)的機(jī)柜上，所述轉(zhuǎn)動(dòng)裝置的一段與所述金屬框架鉸接，其另一段固定在獨(dú)立的可移動(dòng)的機(jī)柜上。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果：本實(shí)用新型提供的機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)可以使機(jī)柜與整機(jī)的結(jié)合面保持嚴(yán)密，整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊。轉(zhuǎn)動(dòng)軸與轉(zhuǎn)動(dòng)板之間的間隙配合，能夠讓轉(zhuǎn)動(dòng)軸根據(jù)地面的不平度在轉(zhuǎn)動(dòng)板的通孔內(nèi)上下移動(dòng)，從而適應(yīng)地面的不平度，保證機(jī)柜底部帶調(diào)整塊的腳輪著地，讓機(jī)柜的重量通過腳輪作用到地面上，而不作用在主機(jī)框架上，有效地防止主機(jī)框架變形。

進(jìn)一步地，金屬框架由第一固定板以及第二固定板組成，并利用第三固定板以及第四固定板固定在機(jī)柜框架上，第一固定板、第二固定板、第三固定板以及第四固定板采用分體式設(shè)計(jì)，方便安裝和拆卸。第一固定板和第二固定板還起到限位作用，可以限制轉(zhuǎn)動(dòng)板的轉(zhuǎn)動(dòng)角度在0°至90°的范圍內(nèi)。

本實(shí)用新型提供的機(jī)柜，能與整機(jī)的結(jié)合面保持嚴(yán)密，使整機(jī)結(jié)構(gòu)緊湊。

附圖說明

下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說明：

圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的光刻機(jī)整機(jī)的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的光刻機(jī)整機(jī)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)的主視結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的機(jī)柜轉(zhuǎn)動(dòng)結(jié)構(gòu)的俯視結(jié)構(gòu)示意圖；