[實用新型]一種用于晶體生長的冷卻裝置有效
| 申請號: | 201420033383.8 | 申請日: | 2014-01-20 |
| 公開(公告)號: | CN203683729U | 公開(公告)日: | 2014-07-02 |
| 發明(設計)人: | 陸文勝;陳基平;姜利飛 | 申請(專利權)人: | 福建科彤光電技術有限公司 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00 |
| 代理公司: | 福州科揚專利事務所 35001 | 代理人: | 俆開翟;何小星 |
| 地址: | 350014 福*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 晶體生長 冷卻 裝置 | ||
1.一種用于晶體生長的冷卻裝置,其特征在于:所述冷卻裝置包括制冷機、蓄水箱、水泵、浮球水位開關、溫度計、消防泵、可調節流量閥、單向閥、流量計、鍍鋅管,其中,蓄水箱設有觀察口、補水管道以及隔板,補水管道上安裝有浮球水位開關;蓄水箱一側通過冷卻管道與制冷機想通,另一側放置水泵,水泵通過鍍鋅管與待冷卻的晶體生長設備想通;待降溫的晶體生長設備再通過鍍鋅管與蓄水箱想通,鍍鋅管上安裝有溫度計、消防泵、可調節流量閥、單向閥、流量計。
2.如權利要求1所述的一種用于晶體生長的冷卻裝置,其特征在于:所述鍍鋅管為90mm鍍鋅管。
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