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[實用新型]一種用于晶體生長的冷卻裝置有效

專利信息
申請號: 201420033383.8 申請日: 2014-01-20
公開(公告)號: CN203683729U 公開(公告)日: 2014-07-02
發明(設計)人: 陸文勝;陳基平;姜利飛 申請(專利權)人: 福建科彤光電技術有限公司
主分類號: C30B35/00 分類號: C30B35/00
代理公司: 福州科揚專利事務所 35001 代理人: 俆開翟;何小星
地址: 350014 福*** 國省代碼: 福建;35
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 晶體生長 冷卻 裝置
【權利要求書】:

1.一種用于晶體生長的冷卻裝置,其特征在于:所述冷卻裝置包括制冷機、蓄水箱、水泵、浮球水位開關、溫度計、消防泵、可調節流量閥、單向閥、流量計、鍍鋅管,其中,蓄水箱設有觀察口、補水管道以及隔板,補水管道上安裝有浮球水位開關;蓄水箱一側通過冷卻管道與制冷機想通,另一側放置水泵,水泵通過鍍鋅管與待冷卻的晶體生長設備想通;待降溫的晶體生長設備再通過鍍鋅管與蓄水箱想通,鍍鋅管上安裝有溫度計、消防泵、可調節流量閥、單向閥、流量計。

2.如權利要求1所述的一種用于晶體生長的冷卻裝置,其特征在于:所述鍍鋅管為90mm鍍鋅管。

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