[實用新型]一種用于晶體生長的保溫裝置有效
| 申請號: | 201420033296.2 | 申請日: | 2014-01-20 |
| 公開(公告)號: | CN203768490U | 公開(公告)日: | 2014-08-13 |
| 發明(設計)人: | 陸文勝;陳基平;姜利飛 | 申請(專利權)人: | 福建科彤光電技術有限公司 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00 |
| 代理公司: | 福州科揚專利事務所 35001 | 代理人: | 俆開翟;何小星 |
| 地址: | 350014 福*** | 國省代碼: | 福建;35 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 用于 晶體生長 保溫 裝置 | ||
【權利要求書】:
1.一種用于晶體生長的保溫裝置,包括爐膛、第一保溫壁、第二保溫壁、第三保溫壁,其中爐膛位于整個保溫裝置的最內圈,晶體生長的保溫裝置從里到外依次是爐膛、第一保溫壁、第二保溫壁、第三保溫壁,其特征在于:所述第一保溫壁被切成兩半形成兩個半相同的半保溫壁。
2.如權利要求1所述的一種用于晶體生長的保溫裝置,其特征在于:第三保溫壁被切成兩半形成兩個半相同的保溫壁。
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