[實用新型]一種可在惰性氣氛中生長摻雜有機晶體的裝置有效
| 申請號: | 201420031182.4 | 申請日: | 2014-01-17 |
| 公開(公告)號: | CN203659812U | 公開(公告)日: | 2014-06-18 |
| 發明(設計)人: | 王歡;趙陽;苑丹丹 | 申請(專利權)人: | 東北石油大學 |
| 主分類號: | H01L21/00 | 分類號: | H01L21/00;H01L21/38;H01L21/40 |
| 代理公司: | 大慶知文知識產權代理有限公司 23115 | 代理人: | 李建華 |
| 地址: | 163318 黑龍*** | 國省代碼: | 黑龍江;23 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 惰性 氣氛 生長 摻雜 有機 晶體 裝置 | ||
1.一種可在惰性氣氛中生長摻雜有機晶體的裝置,包括大內徑石英管(4)、中內徑石英管(3)以及1、2號小內徑石英管(1,2),其特征在于:
所述大內徑石英管(4)的內部中空,其左、右端均通過石英管端蓋(8)封閉,所述石英管端蓋的邊緣處設有密封膠圈(9),大內徑石英管(4)的左、右端分別設有氣體進口管(5)和氣體出口管(6);在大內徑石英管的外壁上由左端始至中段處止,纏繞由電阻絲繞制的加熱帶(7);
所述大內徑石英管中通過帶有拉繩(11)的定位托盤(10)固定有中內徑石英管(3),在中內徑石英管(3)的管壁上開有若干可置入隔板(14)的隔板插入口(13),隔板(14)上開有若干通氣孔;在中內徑石英管(3)中的左端通過插入隔板(14)定位后固定放置1、2號小內徑石英管(1,2);
在大內徑石英管(4)的管壁上開有活動口,所述活動口通過帶有緊固螺栓的弧形蓋板(12)封閉。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





