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[實用新型]一種可在惰性氣氛中生長摻雜有機晶體的裝置有效

專利信息
申請號: 201420031182.4 申請日: 2014-01-17
公開(公告)號: CN203659812U 公開(公告)日: 2014-06-18
發明(設計)人: 王歡;趙陽;苑丹丹 申請(專利權)人: 東北石油大學
主分類號: H01L21/00 分類號: H01L21/00;H01L21/38;H01L21/40
代理公司: 大慶知文知識產權代理有限公司 23115 代理人: 李建華
地址: 163318 黑龍*** 國省代碼: 黑龍江;23
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 惰性 氣氛 生長 摻雜 有機 晶體 裝置
【權利要求書】:

1.一種可在惰性氣氛中生長摻雜有機晶體的裝置,包括大內徑石英管(4)、中內徑石英管(3)以及1、2號小內徑石英管(1,2),其特征在于:

所述大內徑石英管(4)的內部中空,其左、右端均通過石英管端蓋(8)封閉,所述石英管端蓋的邊緣處設有密封膠圈(9),大內徑石英管(4)的左、右端分別設有氣體進口管(5)和氣體出口管(6);在大內徑石英管的外壁上由左端始至中段處止,纏繞由電阻絲繞制的加熱帶(7);

所述大內徑石英管中通過帶有拉繩(11)的定位托盤(10)固定有中內徑石英管(3),在中內徑石英管(3)的管壁上開有若干可置入隔板(14)的隔板插入口(13),隔板(14)上開有若干通氣孔;在中內徑石英管(3)中的左端通過插入隔板(14)定位后固定放置1、2號小內徑石英管(1,2);

在大內徑石英管(4)的管壁上開有活動口,所述活動口通過帶有緊固螺栓的弧形蓋板(12)封閉。

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