[實用新型]一種合成銅盤研磨盤有效
| 申請號： | 201420030964.6 | 申請日： | 2014-01-18 |
| 公開（公告）號： | CN203680024U | 公開（公告）日： | 2014-07-02 |
| 發明（設計）人： | 朱孟奎 | 申請（專利權）人： | 上海百蘭朵電子科技有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/16 | 分類號： | B24B37/16 |
| 代理公司： | 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411 | 代理人： | 曾少麗 |
| 地址： | 200438 上海*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 合成 研磨 | ||
【權利要求書】：
1.一種合成銅盤研磨盤，包括盤體，其特征在于，所述盤體的表面設置有若干鋸齒結構，所述盤體的中心區域設置有預留區，所述預留區的中心區域設置有安裝孔。
2.根據權利要求1所述的一種合成銅盤研磨盤，其特征在于，所述鋸齒結構僅設置于所述盤體的一個表面。
3.根據權利要求2所述的一種合成銅盤研磨盤，其特征在于，所述盤體的另一個表面為平面結構。
4.根據權利要求1所述的一種合成銅盤研磨盤，其特征在于，所述預留區為圓形環狀結構。
5.根據權利要求4所述的一種合成銅盤研磨盤，其特征在于，所述預留區內還設置有若干排污孔。
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