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[實用新型]真空升華裝置有效

專利信息
申請號: 201420029760.0 申請日: 2014-01-17
公開(公告)號: CN203803143U 公開(公告)日: 2014-09-03
發明(設計)人: 劉屹東;高濤 申請(專利權)人: 方圓環球光電技術鹽城有限公司;未名光電鹽城有限公司
主分類號: B01D7/00 分類號: B01D7/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 224005 江蘇省鹽城市鹽瀆路*** 國省代碼: 江蘇;32
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 真空 升華 裝置
【權利要求書】:

1.真空升華裝置,其特征在于,包括:坩堝、加熱源、真空腔室、材料收集板、控溫裝置、取樣裝置、放氣閥、隔離板,隔離板位于真空腔室之間,通過控制隔離板,將真空腔室隔離成兩部分。

2.如權利要求1所述的真空升華裝置,其特征在于,所述取樣裝置為推拉桿或機械手柄夾具裝置。

3.如權利要求1所述的真空升華裝置,其特征在于,所述材料收集板與取樣裝置連接,放氣閥與真空腔室連通。

4.如權利要求1或3所述的真空升華裝置,其特征在于,所述控溫裝置位于材料收集板上方。

5.如權利要求1所述的真空升華裝置,其特征在于,所述隔離板為伸縮裝置或推拉裝置或翻轉裝置。

6.如權利要求1所述的真空升華裝置,其特征在于,所述坩堝不少于兩個。

7.如權利要求1所述的真空升華裝置,其特征在于,所述加熱源的數量和坩堝的數量相同。

8.如權利要求1所述的真空升華裝置,其特征在于,所述加熱源為一個。

9.如權利要求8所述的真空升華裝置,其特征在于,還包括旋轉托盤,將坩堝置于旋轉托盤上,通過旋轉坩堝或加熱源,將坩堝置于加熱源上方。

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2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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