[實用新型]一種用于浸漬式碲鎘汞液相外延的溫度控制裝置

有效

• 申請號: 201420028370.1
• 申請日: 2014-01-17
• 公開（公告）號: CN203768484U
• 公開（公告）日: 2014-08-13
• 發明（設計）人: 楊建榮;魏彥鋒;孫瑞贇;孫權志
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海技術物理研究所
• 主分類號: C30B19/10
• 分類號: C30B19/10;C30B29/48
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司 31213
• 代理人: 郭英

1.一種用于浸漬式碲鎘汞液相外延的溫度控制裝置，在液相外延系統的生長腔體的內部上下各有一根測溫用的石英管套管，一根是從升降坩堝（5）和樣品架（12）的拉桿（14）中間插入樣品架內部的頂部石英套管（15），通過移動第三熱電偶（4）或放置多根熱電偶，監測樣品架（12）和母液（10）內部的溫度，另一根是從石英管生長腔體（13）底部插入到坩堝（5）底部的底部石英套管（8），放置第四熱電偶（16），用于監測坩堝（5）的底部溫度，其特征在于：

在液相外延系統的底部石英套管（8）上引出分支，即在插熱電偶的底部石英套管（8）的側壁接出一段石英管，石英管穿過石墨底座（9）延伸到坩堝（5）的外側，利用熱電偶可彎曲的特性將熱電偶插入到坩堝（5）外側的位置，在坩堝（5）的外側設置一溫度測量點。