[實用新型]一種軟板用顯影、蝕刻連退膜設備有效
| 申請號： | 201420026785.5 | 申請日： | 2014-01-16 |
| 公開（公告）號： | CN203788570U | 公開（公告）日： | 2014-08-20 |
| 發明（設計）人： | 馬國宏 | 申請（專利權）人： | 東莞市宏德電子設備有限公司 |
| 主分類號： | H05K3/06 | 分類號： | H05K3/06 |
| 代理公司： | 東莞市眾達專利商標事務所(普通合伙) 44251 | 代理人： | 劉漢民 |
| 地址： | 523000 廣東省*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 軟板用 顯影 蝕刻 連退膜 設備 | ||
1.一種軟板用顯影、蝕刻及退膜設備，其特征在于：包括顯影機構、蝕刻機構、退膜機構、清洗機構、干板機構、送料機構、收料機構；
所述顯影機構，其設置在所述設備的入口端，其包含有第一藥水缸、第一搖擺架噴淋設備、傳送軟板的第一軟包膠轆輸送裝置及設置在所述第一藥水缸中的除泡沫裝置；
所述蝕刻機構，其設置在所述顯影機構后，且位于所述清洗機構的出口端，其包含有第二藥水缸、第二搖擺架噴淋設備、傳送軟板的第二軟包膠轆輸送裝置及設置在所述第二搖擺架噴淋設備的噴嘴兩旁的真空水刀裝置；
所述退膜機構，其設置在所述蝕刻機構后，且位于所述清洗機構的出口端，其包含有第三藥水缸、第一噴管噴淋設備、傳送軟板的第三軟包膠轆輸送裝置及設置在所述第三藥水缸上面的滾筒收膜渣裝置；
所述清洗機構，其設置在所述顯影機構、所述蝕刻機構、所述退膜機構的出口端，其包含有水洗缸、第二噴管噴淋設備、傳送軟板的第四軟包膠轆輸送裝置；
所述干板機構，其設置在所述退膜機構后，且位于所述清洗機構的出口端，其包含有強風組合、熱合組合及過濾風箱裝置；
所述送料機構，其設置在所述顯影機構的入口端；
所述收料機構，其設置在所述干板機構的出口端。
2.如權利要求?1?所述的軟板用顯影、蝕刻及退膜設備，其特征在于：所述送料機構包括第一機體，所述第一機體上設置有第一放料軸、第二放料軸和兩個第一張力前后軸，由所述第一放料軸或所述第二放料軸送出連續的軟板，軟板經過第一張力前后軸后被所述送料機構的傳動系統卷出并進行輸送。
3.如權利要求?2?所述的軟板用顯影、蝕刻及退膜設備，其特征在于：兩個所述第一張力前后軸間設有第一張力檢知輪軸，所述第一張力前后軸上設有壓制軟板的第一張力軸。
4.如權利要求?2?所述的軟板用顯影、蝕刻及退膜設備，其特征在于：所述第一機體上設置有卷收軟板保護膜的收膜軸。
5.如權利要求?1?所述的軟板用顯影、蝕刻及退膜設備，其特征在于：所述收料機構包括第二機體，所述第二機體上設置有第三收料軸、第四收料軸及兩個第二張力前后軸，所述第三收料軸或所述第四收料軸卷收被輸送系統卷出并已加工好的軟板。
6.如權利要求?5?所述的軟板用顯影、蝕刻及退膜設備，其特征在于：兩個所述第二張力前軸間設有第二張力檢知輪軸，所述第二張力前后軸設有壓制軟板的第二張力軸。
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