[實用新型]平板型太陽能吸熱條帶鍍膜裝置

有效

• 申請號: 201420025550.4
• 申請日: 2014-01-11
• 公開（公告）號: CN203653685U
• 公開（公告）日: 2014-06-18
• 發明（設計）人: 崔世娟
• 申請（專利權）人: 崔世娟
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.平板型太陽能吸熱條帶鍍膜裝置，包括前圓弧門(1)、鍍膜室(2)、工件架(3)、真空排氣孔(4)、上轉盤(5)、下轉盤(6)、公轉盤(7)、轉盤聯接桿(8)、濺射靶(9)、工件卷筒(10)、屏蔽板(11)，其特征在于鍍膜室(2)內設置有工件架(3)和工件卷筒(10)，工件卷筒(10)的形狀設置成六棱柱形，工件架(3)由上轉盤(5)、下轉盤(6)、公轉盤(7)、轉盤聯接桿(8)、濺射靶(9)和屏蔽板(11)組成，工件卷筒(10)設置在上轉盤(5)與下轉盤(6)之間，工件卷筒(10)的上端通過連接軸與上轉盤(5)連接，工件卷筒(10)的下端通過連接軸與下轉盤(6)連接，工件卷筒(10)可以繞工件卷筒(10)兩端的連接軸旋轉，上轉盤(5)與下轉盤(6)之間通過轉盤聯接桿(8)連接在一起，下轉盤(6)上中間設置有一個十字形的屏蔽板(11)和四個濺射靶(9)，相鄰的濺射靶(9)通過十字形的屏蔽板(11)分隔開，濺射靶(9)和屏蔽板(11)的頂端與上轉盤(5)接觸，下轉盤(6)的下面設置有公轉盤(7)，在鍍膜室(2)的背面設置有真空排氣孔(4)，鍍膜室(2)內設置真空，鍍膜室(2)的一側還設置有前圓弧門(1)。