[實用新型]晶體硅太陽能電池片鏈式傳送的平行滾輪裝置

有效

• 申請號: 201420025300.0
• 申請日: 2014-01-16
• 公開（公告）號: CN203644745U
• 公開（公告）日: 2014-06-11
• 發明（設計）人: 張仲英;呂日祥;王斌;孔維興
• 申請（專利權）人: 浙江綠遠光伏科技有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L31/18
• 代理公司: 杭州斯可睿專利事務所有限公司 33241
• 代理人: 周涌賀

技術領域

本實用新型涉及晶體硅太陽能電池片加工裝置，尤其是一種晶體硅太陽能電池片制絨及濕法刻蝕鏈式傳送滾輪所使用的平行滾輪裝置。

背景技術

在目前的晶硅的生產工藝中，使用化學品的化學槽的傳送滾輪主要有一種:就是靠凸出的部份，與硅片相接觸并作為傳送動力。

太陽能電池片的絨面好壞，很大的程度上影響了多晶硅電池的轉換效率以及外觀的良品率。絨面的質量主要由絨面整體的均勻性及光的反射率兩個參數來表征。絨面的發展方向是絨面顆粒小而多，而且需要均勻的分布在硅片整體的表面。因為當絨面顆粒大小不均勻時，除了硅片表面的反射率提高外，經過氣相沉積所鍍上的氮化硅膜也會不均勻，因此造成顏色不均一及色差等問題。然而小而均勻的硅片絨面顆粒可以有效的降低硅片的反射率，增加光線的吸收，提高短路電流，從而提高轉換效率。絨面越均勻，越有利于后續的氮化硅氣相沉積工藝，顏色越均勻，對于氮化硅的膜厚的控制也越有利，減少了外觀不良片，降低返工片，有效提升太陽能電池片的光電轉換率。

當前太陽能電池片制造時所使用的化學槽傳送滾輪，在傳送點與硅片接觸的位置，一般容易造成硅片表面有“滾輪印”。其實所謂的滾輪印，其形成原因是滾輪與硅片接觸的區域不能與化學溶液接觸，降低了電池片制絨效果，與滾輪接觸和未與滾輪接觸的硅片絨面不一樣，而造成后續工續的顏色差異，同時也降低了太陽能電池片的光電轉換率。

在傳送硅片的過程中，滾輪是用來支撐并傳送硅片，因此滾輪與硅片接觸是必須的，目前為達到更好的植絨效果，采用減小滾輪與硅片的接觸面積，如專利號為201220591109.3的一種傳送滾輪及化學腐蝕裝置，該裝置中傳送滾輪的橫截面為齒輪狀，減少了在傳送過程中傳送滾輪與硅片的接觸面積，這樣只能起到減小絨面破壞的面積，而且該結構中傳送滾輪與普通圓柱形滾輪相比，其與硅片的接觸面積差不多，并無改善。

如專利號為201220425433.8的用于輸送異質結太陽能電池片的傳送帶，包括傳送輥和載物帶，載物帶兩邊設有若干支撐柱，支撐柱用于支撐硅片，支撐柱相對于傳送輥或載物帶而言，減小了與硅片的接觸面積。

綜上所提供的現有技術中，均是采用減小與硅片的接觸面積來減小電池片絨面的破壞，只能做到減小電池片植絨的破壞面積。但是在減小接觸面的情況下，用于支撐硅片的面積也要達到硅片總面積的5%以上，該接觸區域在傳送過程中因未能與化學溶液接觸，留有滾輪印，降低了太陽能電池片的光電轉換率。

實用新型內容

本實用新型要解決上述現有技術的缺點，提供一種晶體硅太陽能電池片鏈式傳送的平行滾輪裝置，不僅減小滾輪與硅片的接觸面積，而且在輸送過程中不停地變動支撐位置，使硅片表面的絨面完全分布。

本實用新型解決其技術問題采用的技術方案：這種晶體硅太陽能電池片鏈式傳送的平行滾輪裝置，包括一排平行設置在化學槽內的滾輪，滾輪的表面設有間隔分布的凸點，相鄰的凸點之間形成下凹區域，同一滾輪上的凸點交錯分布，一排滾輪上的凸點在傳送方向上均不在同一直線上。該結構在不需修改任何鏈式設備的同時，只需更改傳送的滾輪裝置便可以完成。這種晶體硅太陽能電池片鏈式傳送的平行滾輪裝置采用防酸堿的塑料材料，材料所制備的平行滾輪上有等距及分布均勻的小小凸點。平行滾輪上的凸點是與硅片接觸的位置，此一小凸點除了可以起傳送的功能作用外，這些凸點另一個作用就是在凸點與凸點形成下凹區域，使硅片與滾輪之間留有空隙可以讓化學溶液透過，進而保證化學溶液滲入硅片表面充分反應，防止滾輪印形成。同時在輸送的過程中，由于凸點在滾輪上轉動時高度在變化，因此會產生高度差，高度差太大在轉動時會產生較大沖撞硅片的力，同一滾輪上的凸點交錯分布，這樣可減小相鄰凸點替換產生的高度差，減小碰撞，使凸點與硅片接觸更輕，更好地保護硅片表面；一排滾輪上的凸點在傳送方向上均不在同一直線上，這樣凸點支撐在硅片下表面的位置在不停地變動，不會重復支撐在相同位置上，這樣使起初支撐的接觸面露出并與化學溶液充分反應，這樣可以達到無滾輪印的出現。

為了進一步完善，相鄰的凸點左右間隔為1～30mm。相鄰的凸點前后間隔為1～30mm。凸點的高度為1～20mm。與此同時，凸點可為任意形狀，凸點可以為圓柱體、長方體或半球體結構。

滾輪的兩端設有安裝頭，安裝頭上設有用安裝的L形卡槽。平行滾輪一頭的安裝頭可設計卡槽，可根據不同的設備來更改，另一頭的活動性滾輪安裝頭也可以根據不同的設備來作修改。