[實(shí)用新型]基于氮化鎵材料的人體血糖測(cè)試芯片有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201420022740.0 | 申請(qǐng)日： | 2014-01-14 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN203798771U | 公開(kāi)（公告）日： | 2014-08-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 柯志杰;郭文平;鄧群雄;黃慧詩(shī) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇新廣聯(lián)科技股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | G01N27/414 | 分類號(hào)： | G01N27/414 |
| 代理公司： | 無(wú)錫市大為專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 32104 | 代理人： | 曹祖良;劉海 |
| 地址： | 214192 江蘇省無(wú)錫*** | 國(guó)省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 基于 氮化 材料 人體 血糖 測(cè)試 芯片 | ||
1.一種基于氮化鎵材料的人體血糖測(cè)試芯片，包括襯底（1），其特征是：在所述襯底（1）的上表面生長(zhǎng)形成U型氮化鎵層（2），U型氮化鎵層（2）上表面生長(zhǎng)形成鋁鎵氮層（3），鋁鎵氮層（3）上表面生長(zhǎng)U型氮化鎵披覆層（4）；所述U型氮化鎵披覆層（4）上設(shè)有源極（5）和漏極（6），源極（5）和漏極（6）與U型氮化鎵披覆層（4）形成歐姆接觸；所述源極（5）和漏極（6）相互分離，源極（5）和漏極（6）之間的間隙處為柵極（9），源極（5）和漏極（6）上分別沉積有源極打線電極（7）和漏極打線電極（8）；在所述芯片上表面覆蓋絕緣層（10），絕緣層（10）覆蓋住芯片上表面除源極打線電極（7）、漏極打線電極（8）和柵極（9）以外的區(qū)域；在所述柵極（9）的表面涂布生物酶（11）。
2.如權(quán)利要求1所述的基于氮化鎵材料的人體血糖測(cè)試芯片，其特征是：在所述芯片的上表面，源極（5）、漏極（6）和柵極（9）區(qū)域以外的部分形成刻蝕溝槽，刻蝕溝槽由U型氮化鎵披覆層（4）的上表面延伸至U型氮化鎵層（2）。
3.如權(quán)利要求1或2所述的基于氮化鎵材料的人體血糖測(cè)試芯片，其特征是：所述襯底（1）采用藍(lán)寶石基板、硅基板、氮化鎵基板或者碳化硅基板中的一種。
4.如權(quán)利要求1或2所述的基于氮化鎵材料的人體血糖測(cè)試芯片，其特征是：所述鋁鎵氮層（3）的厚度≤100nm。
5.如權(quán)利要求1或2所述的基于氮化鎵材料的人體血糖測(cè)試芯片，其特征是：所述U型氮化鎵披覆層（4）的厚度≤50nm。
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