[實用新型]固晶機頂針機構有效
| 申請號: | 201420022233.7 | 申請日: | 2014-01-14 |
| 公開(公告)號: | CN203721691U | 公開(公告)日: | 2014-07-16 |
| 發明(設計)人: | 喻瀧 | 申請(專利權)人: | 深圳鼎晶光電有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/67 | 分類號: | H01L21/67 |
| 代理公司: | 北京聯瑞聯豐知識產權代理事務所(普通合伙) 11411 | 代理人: | 黃冠華 |
| 地址: | 518000 廣東省深圳市南山區桃源街*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 固晶機 頂針 機構 | ||
1.一種固晶機頂針機構,其特征在于,包括:
一支撐架;
一傳動電機,設于所述支撐架上,傳動電機具有一傳動軸,傳動軸上設置一偏心傳動結構和一連桿結構;
一原點Sensor,設置于所述支撐架上,所述原點Sensor對應所述偏心傳動結構處設有一凹槽,
一導向機構,設于所述支撐架頂部,所述導向機構的下端連接所述連桿機構,所述導向機構上設置一微調機構,所述微調機構的側邊設置一真空結構,導向機構的上部設置一頂針結構。
2.如權利要求1所述的固晶機頂針機構,其特征在于:所述偏心傳動結構包括一轉動葉和一固定件,所述固定件固設于所述傳動軸,所述轉動葉設置于所述固定件上。
3.如權利要求2所述的固晶機頂針機構,其特征在于:所述轉動葉呈半圓形。
4.如權利要求1所述的固晶機頂針機構,其特征在于:所述原點Sensor具有一接觸部,所述凹槽自所述接觸部的內壁面向外凹設形成。
5.如權利要求4所述的固晶機頂針機構,其特征在于:所述凹槽貫穿所述接觸部的上、下壁面。
6.如權利要求5所述的固晶機頂針機構,其特征在于:所述接觸部中貫設一通槽,所述通槽沿所述傳動軸的延伸方向設置。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





