[實用新型]一種分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置

有效

• 申請號: 201420019261.3
• 申請日: 2014-01-13
• 公開（公告）號: CN203720159U
• 公開（公告）日: 2014-07-16
• 發明（設計）人: 宋健
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造（北京）有限公司
• 主分類號: G01N31/16
• 分類號: G01N31/16
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術領域

本實用新型涉及半導體集成電路制造領域，尤其涉及到一種分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置。

背景技術

隨著集成電路（IC）制造中關鍵尺寸的不斷縮小，硅片在進入每道工藝之前表面必須是潔凈的，需經過重復多次清洗步驟，去除硅片表面的顆粒、有機溶液、金屬及自然氧化層等類型的沾污，其清洗次數取決于晶圓設計的復雜性和互連的層數。目前，濕法化學清洗技術是半導體IC工業的主要清洗技術，濕法化學清洗主要是利用溶液、酸堿、表面活性劑、水及其混合物，通過腐蝕、溶解、化學反應等方法，實現某種功能要求或去除晶片表面的沾污物。

在晶圓的制程中所用的有機溶液中水分濃度會直接或者間接的影響晶圓制程不同階段的效果。現有的分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置是由一個針管吸取密閉取樣瓶中的少量有機溶液，并將針管吸取的有機溶液注入密閉滴定池中進行有機溶液中水分濃度含量的分析計算。

但是在針管吸取密閉取樣瓶中的有機溶液時，空氣中的水分會進入樣品瓶；在樣品稱量及將針管吸取的有機溶液注入密閉滴定池中的過程中，都會引入空氣中的水分進入到相應的階段，從而影響有機溶液中水分濃度含量的分析結果的準確度。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置，以解決現有技術中在針管吸取密閉取樣瓶中的有機溶液、樣品稱量及將針管吸取的有機溶液注入密閉滴定池中的過程中，都會引入空氣中的水分進入到相應的階段，導致在對有機溶液中水分濃度含量的分析時，其分析結果準確度不高的問題。

為了解決上述技術問題，本實用新型提供一種分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置，包括：一密閉取樣瓶、一密閉滴定池、一洗耳球；

所述密閉取樣瓶通過輸樣管與所述密閉滴定池連接；

所述洗耳球通過輸氣管與所述密閉取樣瓶連接；其中，所述輸氣管上設置有與所述洗耳球連通的干燥器。

可選的，在所述的分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置中，所述輸氣管上還設置有單向閥；其中，所述單向閥設置于所述干燥器下方。

可選的，在所述的分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置中，所述輸氣管的管口遠離所述密閉取樣瓶中的有機溶液。

可選的，在所述的分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置中，所述洗耳球的材質為橡膠。

可選的，在所述的分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置中，所述密閉取樣瓶中的所述輸樣管的管口浸入所述密閉取樣瓶的有機溶液。

可選的，在所述的分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置中，所密閉滴定池中的所述輸樣管的管口遠離所述密閉滴定池中的液體。

可選的，在所述的分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置中，所述有機溶液中的有機溶質是苯、甲苯、異丙醇、環戊酮、或者N-甲基-2-四氫吡咯酮。

可選的，在所述的分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置中，所述密閉滴定池的池底上設置有攪拌子。

在本實用新型所提供的分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置中，通過輸樣管將密閉取樣瓶及密閉滴定池連接，避免了在從密閉取樣瓶中取樣品及將樣品注入密閉滴定池中所引入空氣中水分的情況；在洗耳球下側設置干燥器，避免洗耳球中氣體中的水分引入到密閉取樣瓶中。由此，分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置具有較好的密閉性，避免了與外界環境接觸的情況，提高了有機溶液中水分濃度含量的分析結果的準確度。

附圖說明

圖1是本實用新型分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置的結構示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和具體實施例對本實用新型提出的分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置作進一步詳細說明。根據下面說明和權利要求書，本實用新型的優點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。

請參考圖1，其為本實用新型實施例的分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置的結構示意圖。如圖1所示的分析有機溶液中水分濃度含量的進樣裝置包括：一密閉取樣瓶1、一密閉滴定池2、一洗耳球3；所述密閉取樣瓶1通過輸樣管200與所述密閉滴定池2連接；所述洗耳球3通過輸氣管100與所述密閉取樣瓶1連接；其中，所述輸氣管100上設置有與所述洗耳球3連通的干燥器101。