[實用新型]一種六氟化硫氣體組分分析儀

有效

• 申請號: 201420017892.1
• 申請日: 2014-01-13
• 公開（公告）號: CN203758912U
• 公開（公告）日: 2014-08-06
• 發明（設計）人: 張玉鈞;高閩光;張立強;蔡毅敏
• 申請（專利權）人: 南京順泰科技有限公司
• 主分類號: G01N21/45
• 分類號: G01N21/45;G01N21/3504
• 代理公司: 江蘇圣典律師事務所 32237
• 代理人: 朱慶華

1.一種六氟化硫氣體組分分析儀，其特征在于，包括大氣室（1）、電源（26）和電路控制板（27）；

所述大氣室（1）左側壁上設有紅外光源（2）和光路輸出窗口（3），且所述大氣室（1）后壁上設有大氣室進氣口（4）和大氣室出氣口（5）；

所述大氣室（1）外部左側設有氦氖光源（6）、第一反射鏡（7）和第二反射鏡（8）；所述第一反射鏡（7）設置在所述氦氖光源（6）的入射光束光路上，所述第二反射鏡（8）位于所述第一反射鏡（7）的反射光束光路上，且所述光路輸出窗口（3）位于所述第二反射鏡（8）的反射光束光路上；

所述大氣室（1）內部設有干涉儀（9）及位于所述干涉儀（9）后方的傳感器（18）；

所述干涉儀（9）包括設置在所述紅外光源（2）入射光束光路上和所述第二反射鏡（8）反射光束光路上的第三反射鏡（10）、設置在所述第三反射鏡（10）反射光束光路上的第四反射鏡（11）、設置在所述第四反射鏡（11）反射光束光路上的分束器（12）、設置在所述分束器（12）右上方位置的紅外全反射鏡（13）、設置在所述分束器（12）透射光束光路上的激光探測器（14）和第五反射鏡（15）、位于所述第五反射鏡（15）反射光束光路上的小氣室（16）及位于所述小氣室（16）出射光束光路上的紅外探測器（17）；

所述電源（26）為上述各結構供電；所述電路控制板（27）控制紅外光源（2）、氦氖光源（6）、小氣室（16）和電源（26）的運行，接收并處理所述傳感器（18）、激光探測器（14）、紅外探測器（17）和小氣室（16）傳輸的信號。

2.根據權利要求1所述的六氟化硫氣體組分分析儀，其特征在于，所述傳感器（18）為濕度傳感器。

3.根據權利要求1所述的六氟化硫氣體組分分析儀，其特征在于，還包括位于所述大氣室（1）外部并與所述大氣室（1）相連的液氮罐（19），所述液氮罐（19）還通過管道分別與激光探測器（14）和紅外探測器（17）相連。

4.根據權利要求1所述的六氟化硫氣體組分分析儀，其特征在于，所述小氣室（16）左側壁和右側壁上分別設有光線輸入口（20）和光線輸出口（21），且小氣室（16）頂端設有小氣室進氣口（22）和小氣室出氣口（23）。

5.根據權利要求4所述的六氟化硫氣體組分分析儀，其特征在于，所述小氣室（16）外部設有位于所述第五反射鏡（15）反射光束光路上的第六反射鏡（24）和位于所述第六反射鏡（24）反射光束光路上的第七反射鏡（25），且所述光線輸入口（20）位于所述第七反射鏡（25）的反射光束光路上。