[實用新型]一種線性電容式微波功率傳感器有效

申請號：	201420010822.3	申請日：	2014-01-08
公開（公告）號：	CN203688659U	公開（公告）日：	2014-07-02
發明（設計）人：	韓磊	申請（專利權）人：	東南大學
主分類號：	G01R21/00	分類號：	G01R21/00
代理公司：	南京蘇高專利商標事務所(普通合伙) 32204	代理人：	柏尚春
地址：	210096***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種線性電容式微功率傳感器
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【權利要求書】：

1.一種線性電容式微波功率傳感器，其特征在于，該傳感器包括襯底（5）、在所述襯底（5）上依次間隔設置的懸臂梁錨區（2）、微帶線（1）、傳感電極（4），以及設置在微帶線（1）上方的懸臂梁（3），懸臂梁（3）的一端與懸臂梁錨區（2）連接，另一端對應懸空在感應電極（4）的上方。

2.根據權利要求1所述的線性電容式微波功率傳感器，其特征在于，所述懸臂梁（3）采用不規則形狀。

3.根據權利要求1所述的線性電容式微波功率傳感器，其特征在于，感應電極（4）包括設置在襯底（5）的感應電極金屬（41）和設在感應電極金屬（41）上的感應電極絕緣層（42），懸臂梁（3）的自由端與感應電極（4）之間采用“拉鏈式”運動，懸臂梁（3）的自由端與感應電極（4）之間采用”拉鏈式“運動，即懸臂梁（3）的自由端與傳感電極（4）采用由懸臂梁（3）自由端頂端向懸臂梁錨區（2）方向與感應電極（4）逐步接觸的運動方式。

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