[實用新型]一種基于聲光調制的非球面模具在機測量裝置

有效

• 申請號: 201420010364.3
• 申請日: 2014-01-08
• 公開（公告）號: CN203993372U
• 公開（公告）日: 2014-12-10
• 發明（設計）人: 朱勇建;潘衛清
• 申請（專利權）人: 浙江科技學院
• 主分類號: B23Q17/20
• 分類號: B23Q17/20;B23Q17/24
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所 44265
• 代理人: 王琴

1.一種基于聲光調制的非球面模具在機測量裝置，其包括一激光器，其特征在于：沿激光器產生激光的水平前進方向依序設置光學擴束系統、分光鏡、聚焦轉換透鏡、被測非球面模具；所述激光再次經過分光鏡反射后形成第一垂直光路，在該垂直光路放置第一光學平板，激光通過第一光學平板后形成兩條水平光路，在下面光路a中沿激光前進方向依序設置第一光楔、第二光楔；在上面光路b中沿激光前進方向先后放置第三光楔、第四光楔；在光楔和光楔后放置一高帶寬聲光偏轉器，光路a與光路b均通過聲光偏轉器，聲光偏轉器與射頻功率放大器連接，射頻功率放大器與直接數字頻率合成器DDS相連，而DDS與計算機相連，并由計算機控制；分別在光路a和b中，位于聲光偏轉器之后，根據光線出射角度放置空間濾波器和反射鏡，在反射鏡之后a光路中放置擴束系統，在b光路中放置縮束系統，在擴束系統與縮束系統后再放置第二光學平板；光路a與b通過第二光學平板后形成第二垂直光路，在該垂直光路沿激光前進方向放置CCD，CCD與計算機相連。

2.根據權利要求1所述的基于聲光調制的非球面模具在機測量裝置，其特征在于：該擴束系統和縮束系統由完全相同的透鏡組成，保證由此引起的光路a與光路b的光程差相同，其光束口徑可微調。

3.根據權利要求1所述的基于聲光調制的非球面模具在機測量裝置，其特征在于：該第一光學平板和第二光學平板為大小相等的長方體，前后面拋光，材料均為K9玻璃，兩平板中心距離為平板厚度的6-8倍。

4.根據權利要求1所述的基于聲光調制的非球面模具在機測量裝置，其特征在于：該第一光楔、第二光楔，第三光楔和第四光楔為尺寸和材料完全相同 的圓形光楔，第一光楔光楔、第二光楔同軸放置在a光路中，無楔角面相對放置并留有極小縫隙，采用電動裝置使它們同步同向／反向繞軸轉動；以同樣方式把第三光楔、第四光楔放置在b光路中，操作時繞軸轉動；第一光楔與第二光楔形成一個光楔對，同樣，第三光楔與第四光楔也形成一個光楔對，作用是精密調節光束到聲光偏轉器的布拉格衍射角位置。

5.根據權利要求1所述的基于聲光調制的非球面模具在機測量裝置，其特征在于：該聲光偏轉器可調制多種波長的激光，其帶寬至少為40MHz，衍射效率大于60％。

6.根據權利要求1所述的基于聲光調制的非球面模具在機測量裝置置，其特征在于：該直接數字頻率合成器的頻率調節范圍大于40MHz。