[實用新型]一種水冷式雙壓電變形鏡

有效

• 申請號: 201420010286.7
• 申請日: 2014-01-08
• 公開（公告）號: CN203705723U
• 公開（公告）日: 2014-07-09
• 發明（設計）人: 張凱;徐宏來;雒仲祥;何忠武;李國會;關有光;楊媛;杜應磊;向汝建
• 申請（專利權）人: 中國工程物理研究院應用電子學研究所
• 主分類號: G02B26/06
• 分類號: G02B26/06
• 代理公司: 成都九鼎天元知識產權代理有限公司 51214
• 代理人: 卿誠;吳彥峰

1.一種水冷式雙壓電變形鏡，其特征在于：包括水冷式雙壓電變形鏡主體和水冷式雙壓電變形鏡鏡架，所述的水冷式雙壓電變形鏡主體設置于水冷式雙壓電變形鏡鏡架內；

水冷式雙壓電變形鏡主體包括反射鏡一、反射鏡二、壓電晶片一、壓電晶片二、電極引線、變形鏡支撐件；所述反射鏡一的背面與反射鏡二的正面相粘接，反射鏡二的背面與壓電晶片一的正極面相粘接，壓電晶片一和壓電晶片二的負極面相粘接，變形鏡支撐件的一面與反射鏡二的背面固聯；電極引線的一端從壓電晶片一、壓電晶片二的各個電極引出；

水冷式雙壓電變形鏡鏡架，包括前蓋板和后蓋板，所述后蓋板上設置有一個進水口，一個出水口。

2.根據權利要求1所述的一種水冷式雙壓電變形鏡，其特征在于所述反射鏡二的正面設置有微通道一。

3.根據權利要求1所述的一種水冷式雙壓電變形鏡，其特征在于所述前蓋板上設置有微通道二。

4.根據權利要求2或3所述的一種水冷式雙壓電變形鏡，其特征在于所述微通道一和微通道二的通道大小、通道間隔相同。

5.根據權利要求1所述的一種水冷式雙壓電變形鏡，其特征為所述電極引線的數量與變形鏡的電極數相等。