[實用新型]一種研磨機太陽輪調(diào)節(jié)裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201420005013.3
• 申請日: 2014-01-03
• 公開（公告）號: CN203680029U
• 公開（公告）日: 2014-07-02
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 岳偉;陳志嵩;殷華林;戴安娜;伊蓮娟;毛可勇;李海寧
• 申請（專利權(quán)）人: 常州貝斯塔德機械科技有限公司
• 主分類號: B24B37/34
• 分類號: B24B37/34
• 代理公司: 北京匯信合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11335
• 代理人: 陳圣清

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種研磨機太陽輪調(diào)節(jié)裝置。

背景技術(shù)

藍寶石（AL2O3）為六方對稱結(jié)構(gòu)，它作為最硬的氧化物晶體，具備優(yōu)良的光化學(xué)和物理性能。機械強度高，耐化學(xué)腐蝕，有較好的導(dǎo)熱性、熱穩(wěn)定性，透光波段寬，是理想的窗口襯底基本材料，另外，它具有電絕緣性，化學(xué)性能穩(wěn)定，漏電容和寄生電容小，是極好的半導(dǎo)體、超導(dǎo)襯底材料。作為襯底用的藍寶石晶體基片一般為2英寸，4英寸等。用作半導(dǎo)體襯底的光學(xué)藍寶石晶體基片對其表面有很高的要求，包括片面度，平行度達到0.005mm,光潔度達到0.5nm。

現(xiàn)有雙面研磨機如圖2所示，主要包括221-上盤，222-內(nèi)齒輪，223-游星輪，224-下盤，225-太陽齒，226-工件，其原理是被加工零件放在游星輪卡槽中，上盤221和下盤224以相反的方向轉(zhuǎn)動，中間的太陽齒225、和內(nèi)齒輪222也同時以不同的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)動，并且調(diào)節(jié)它們的轉(zhuǎn)速可以使得游星輪223的自轉(zhuǎn)和公轉(zhuǎn)達到相應(yīng)的工藝要求。這樣工件226就可以在游星輪223里面均勻的接收上下磨盤的研磨。這里有一個問題是下盤會隨著研磨時間而變的越來越薄，這就會帶來一些問題、太陽輪要設(shè)計的寬度很寬，太陽輪的制作成本較高、游行輪在與太陽輪嚙合時會對輪齒有較大的磨耗。

實用新型內(nèi)容

針對上述問題中存在的不足之處，本實用新型提供一種研磨機太陽輪調(diào)節(jié)裝置。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供一種研磨機太陽輪調(diào)節(jié)裝置，所述主軸上部兩側(cè)安裝有太陽輪調(diào)節(jié)座，并在太陽輪調(diào)節(jié)座側(cè)面固有太陽輪，主軸中部兩側(cè)設(shè)有軸承座，軸承座與主軸之間安裝有軸承，主軸下端一側(cè)安裝有電機。

進一步的，所述太陽輪調(diào)節(jié)座上擰有螺栓，螺栓的底端頂緊主軸。

進一步的，所述太陽輪調(diào)節(jié)座與主軸通過軸承連接。

優(yōu)選的，所述主軸與太陽輪調(diào)節(jié)座通過螺紋安裝。

進一步的，所述主軸上部設(shè)有凸沿。

進一步的，所述主軸兩側(cè)的太陽輪調(diào)節(jié)座位于同一軸線上。

本實用新型的有益效果為：通過將太陽輪做成上下可調(diào)式，太陽輪既能轉(zhuǎn)動，又能上下可調(diào)，這樣在上盤變薄時可以降低太陽輪高度來適應(yīng)其加工嚙合需求，這樣太陽輪的寬度就可以設(shè)計的相對較薄，而且當太陽輪磨損掉后，替換時不至于代價太高，不僅能降低太陽輪的加工成本，同時降低太陽輪的磨耗延長其壽命。

附圖說明

圖1為本實用新型一種研磨機太陽輪調(diào)節(jié)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為現(xiàn)有雙面研磨機的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、太陽輪；2、太陽輪調(diào)節(jié)座；3、螺栓；4、軸承座；5、電機；6、主軸；7、軸承；221、上盤；222、內(nèi)齒輪；223、游星輪；224、下盤；225、太陽齒；226、工件。

具體實施方式

如圖1所示，本實用新型實施例所述的一種研磨機太陽輪調(diào)節(jié)裝置、所述主軸6上部兩側(cè)安裝有太陽輪調(diào)節(jié)座2，并在太陽輪調(diào)節(jié)座2側(cè)面固有太陽輪1，主軸6中部兩側(cè)設(shè)有軸承座4，軸承座4與主軸6之間安裝有軸承7，主軸6下端一側(cè)安裝有電機5。通過將太陽輪做成上下可調(diào)式，太陽輪既能轉(zhuǎn)動，又能上下可調(diào)，這樣在太陽輪變薄時可以降低其高度來適應(yīng)其加工嚙合需求，這樣太陽輪的寬度就可以設(shè)計的相對較薄，而且當太陽輪磨損掉后，替換時不至于代價太高，不僅能降低太陽輪的加工成本，同時降低太陽輪的磨耗延長其壽命。

所述太陽輪調(diào)節(jié)座2上擰有螺栓3，螺栓3的底端頂緊主軸6。采用螺栓頂緊方式可、主軸與太陽輪調(diào)節(jié)座就被鎖死，不能相對轉(zhuǎn)動，方便調(diào)節(jié)太陽能調(diào)節(jié)座，固定效果好。

所述太陽輪調(diào)節(jié)座2與主軸6通過軸承7連接。電機為軸承提供動力軸承帶動太陽能調(diào)節(jié)座上的太陽輪轉(zhuǎn)動。

所述主軸6與太陽輪調(diào)節(jié)座2通過螺紋安裝。采用上述連接方式太陽輪調(diào)節(jié)座就會相對于主軸上下運動調(diào)節(jié)這樣可以降低其高度來適應(yīng)其加工嚙合需求。

所述主軸6上部設(shè)有凸沿。凸沿可是圓環(huán)形或兩個凸起，可方便太陽能調(diào)節(jié)座與軸承座安裝。

所述主軸6兩側(cè)的太陽輪調(diào)節(jié)座2位于同一軸線上。采用上述方式可提高太陽輪的操作準度。