[實用新型]一種低熱彈性阻尼扭轉式微機電諧振器件有效

申請號：	201420001856.6	申請日：	2014-01-02
公開（公告）號：	CN203675064U	公開（公告）日：	2014-06-25
發明（設計）人：	李普;方玉明;臺永鵬	申請（專利權）人：	東南大學
主分類號：	H03H9/24	分類號：	H03H9/24
代理公司：	南京瑞弘專利商標事務所(普通合伙) 32249	代理人：	楊曉玲
地址：	211189 江***	國省代碼：	江蘇;32
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種低熱彈性阻尼扭轉式微機電諧振器件
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【權利要求書】：

1.一種低熱彈性阻尼扭轉式微機電諧振器件，其特征在于，該器件包括基底（4）、設置在所述基底（4）上的低熱彈性阻尼結構、驅動電極（5）和感應電極（6），以及由所述低熱彈性阻尼結構支撐的扭轉平板（1），所述低熱彈性阻尼結構包括位于同一軸線上的、具有矩形截面的第一扭轉支撐梁（2）和第二扭轉支撐梁（3），扭轉平板（1）能夠繞第一扭轉支撐梁（2）和第二扭轉支撐梁（3）所在的軸線旋轉，所述驅動電極（5）和感應電極（6）對稱設置在低熱彈性阻尼結構的軸線兩側，所述第一扭轉支撐梁（2）和第二扭轉支撐梁（3）的矩形截面的長邊垂直于基底（4）。?

2.根據權利要求1所述的低熱彈性阻尼扭轉式微機電諧振器件，其特征在于，所述驅動電極（5）和感應電極（6）位于扭轉平板（1）的下方，且不與低熱彈性阻尼結構連接。?

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