[發明專利]一種真空環境下靜壓氣體軸承的性能檢測裝置及其使用方法

有效

• 申請號: 201410857972.2
• 申請日: 2014-12-30
• 公開（公告）號: CN104568440A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發明（設計）人: 李運堂;趙靜一;吳進田;梁宏民;沈傳康
• 申請（專利權）人: 中國計量學院
• 主分類號: G01M13/04
• 分類號: G01M13/04;G01F1/34
• 代理公司: 無
• 代理人: 無

1.一種真空環境下靜壓氣體軸承的性能檢測裝置，它至少由：真空室(1)、供氣管(2)、供氣壓力調節閥(3)、加載砝碼(4)、位移傳感器(5)、承載面(6)、支架(7)、底座(8)、放氣閥(9)、電阻規I(10)、插板閥I(11)、分子泵I(12)、分子泵I固定架(13)、真空室排氣管I(14)、真空室排氣管II(15)、機械泵I(16)、隔斷電磁閥I(17)、壓差閥I(18)、分子泵II固定架(19)、分子泵II(20)、壓差閥II(21)、軸承排氣管I(22)、軸承排氣管II(23)、機械泵II(24)、隔斷電磁閥II(25)、插板閥II(26)、調平支架(27)、軸承排氣管III(28)、靜壓氣體軸承(29)、電阻規II(30)、靜壓氣體軸承排氣槽(31)、靜壓氣體軸承排氣孔(32)、靜壓氣體軸承供氣孔(33)和靜壓氣體軸承供氣槽(34)組成，其特征在于，所述的供氣壓力調節閥(3)安裝在供氣管(2)上，供氣管(2)通過靜壓氣體軸承供氣槽(34)與靜壓氣體軸承供氣孔(33)相連通，加載砝碼(4)和位移傳感器(5)安裝在靜壓氣體軸承(29)上，承載面(6)固定在支架(7)上，支架(7)通過調平支架(27)安裝在真空室(1)內部，真空室(1)固定在底座(8)上，真空室(1)與分子泵I(12)的進氣孔相連通，分子泵I(12)的排氣孔與真空室排氣管I(14)的一端相連通，真空室排氣管I(14)的另一端與隔斷電磁閥I(17)的進氣口相連通，隔斷電磁閥I(17)的排氣孔通過真空室排氣管II(15)與壓差閥I(18)的進氣孔相連通，壓差閥I(18)的排氣孔與機械泵I(16)的進氣孔相連通并安裝在機械泵I(16)上，機械泵I(16)固定在底座(8)上，軸承排氣管III(28)的一端通過靜壓氣體軸承排氣孔(32)與靜壓氣體軸承排氣槽(31)相連通，軸承排氣管III(28)的另一端與分子泵II(20)的進氣孔相連通，電阻規II(30)安裝在軸承排氣管III(28)上，分子泵II(20)通過分子泵II固定架(19)固定在底座(8)上，插板閥II(26)安裝在分子泵II(20)上，分子泵II(20)的排氣口通過軸承排氣管I(22)與隔斷電磁閥II(25)的進氣口相連通，隔斷電磁閥II(25)的排氣口通過軸承排氣管II(23)與壓差閥II(21)的進氣口相連通，壓差閥II(21)的排氣口與機械泵II(24)的進氣口相連通并安裝在機械泵II(24)上，機械泵II(24)固定在底座(8)上。

2.根據權利要求1所述的一種真空環境下靜壓氣體軸承的性能檢測裝置，其特征在于：所述的位移傳感器(5)是電容式位移傳感器或者是電感式位移傳感器或者是光電式位移傳感器。

3.根據權利要求1所述的一種真空環境下靜壓氣體軸承的性能檢測裝置的使用方法，其特征在于：將一定質量加載砝碼(4)固定在靜壓氣體軸承(29)上，關閉供氣壓力調節閥(3)，關閉真空室(1)，開啟機械泵I(16)，打開隔斷電磁閥I(17)，電阻規I(10)測得壓力小于分子泵I(12)的開啟壓力時，啟動分子泵I(12)直至真空室(1)內的壓力保持不變，開啟機械泵II(24)，電阻規II(30)測得軸承排氣管III(28)內壓力小于分子泵II(20)的開啟壓力時，啟動分子泵II(20)直至軸承排氣管III(28)內壓力保持不變，位移傳感器(5)置零，打開供氣壓力調節閥(3)，調整供氣管(2)內的供氣壓力至給定壓力，當電阻規II(30)測得軸承排氣管III(28)內壓力保持不變時，讀出位移傳感器(5)的位移，得出一定供氣壓力和氣膜厚度下的承載能力，依次關閉分子泵I(12)、插板閥I(11)和機械泵I(16)，根據電阻規I(10)測得真空室(1)內壓力變化，計算單位時間內由靜壓氣體軸承(29)泄漏進入真空室(1)的氣體量。