[發明專利]掩模傳輸裝置、曝光裝置及掩模傳輸方法有效

申請號：	201410857404.2	申請日：	2014-12-30
公開（公告）號：	CN105807574B	公開（公告）日：	2018-03-02
發明（設計）人：	王長剛;姜杰	申請（專利權）人：	上海微電子裝備（集團）股份有限公司
主分類號：	G03F7/20	分類號：	G03F7/20
代理公司：	上海思微知識產權代理事務所(普通合伙)31237	代理人：	屈蘅,李時云
地址：	201203 上***	國省代碼：	上海;31
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摘要：
搜索關鍵詞：	傳輸裝置曝光方法
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【說明書】：

技術領域

本發明涉及掩模傳輸裝置、曝光裝置及掩模傳輸方法。

背景技術

隨著信息化程度的提高，顯示技術也在不斷的進步。目前，CRT(Cathode Ray Tube，陰極射線管)技術正在逐漸被LCD(Liquid Crystal Display，液晶顯示器)、LED(light emitting diode，發光二極管)技術替代。OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機發光二極管)因其具有超薄、主動發光、高亮度、高對比度、寬視角、寬工作溫度范圍、低功耗、低成本、全固態等優點，被廣泛的應用于顯示技術中。

隨著OLED的廣泛應用，顯示器的分辨率不斷提高，尺寸也在不斷增大，促進了TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶體管)光刻設備的不斷升級換代；隨著TFT光刻設備的不斷更新換代，用于存儲曝光圖形信息的掩模的尺寸逐漸增大、重量逐漸增加。掩模傳輸裝置通過傳動裝置與電源連接，用于將版盒和掩模搬運至光刻設備中，并將掩模傳輸至掩模臺上進行曝光，由于掩模的尺寸增大、重量增加，對掩模的傳輸裝置的安全性以及傳輸的精確性要求也越來越高。

請參考圖1，現有技術中的掩模傳輸裝置，包括承載架21、承載架引導部21A、裝載臂22、裝載臂Z軸引導部22A、卸載臂23、收容部65、版盒C、版庫LB、搬送車V、投影光學系統PL、掩模M、感光基板P、基板載臺PST、曝光部S、掩模載臺MST、曝光所用的光EL、照明光學系統IL、控制裝置CONT、曝光裝置EX、曝光室CH、第一搬送裝置H1、第二搬送裝置H2；承載架21在第一位置CA1接收到掩模M后，將掩模M搬送到第二位置CA2。該掩模傳輸裝置通過設置萬向滾珠等結構減少搬運過程中的摩擦，增加了搬送過程中的方便性。但是，當出現斷電、供氣中斷以及傳動裝置異常等情況時，掩模傳輸裝置會突然停止運轉，承載架21會因自重而跌落，所述掩模M容易從掩模傳輸裝置上滑落下來，導致物料和設備受損，并且操作環境不安全。而且掩模M的尺寸增大、重量增加時，無法保證掩模M傳輸的精確性。

發明內容

為了提高掩模傳輸過程中的安全性，提高掩模傳輸的精確性，本發明提供一種掩模傳輸裝置。

為了解決以上技術問題，本發明的技術方案是：一種掩模傳輸裝置，包括：取放版機械手，用于從版盒中取出掩模，并承載所述掩模移動；定位對準裝置，用于將所述掩模與掩模臺對準；雙重制動裝置，用于異常情況時對所述取放版機械手制動。

作為優選，所述定位對準裝置包括：機械定位裝置，用于將所述掩模初步定位；光學預定位對準裝置，用于計算對準結果，將所述掩模與所述掩模臺光學對準；交換版機械手，用于攜帶所述掩模移動，將所述掩模與所述掩模臺對準。

作為優選，所述交換版機械手上設有版叉。

作為優選，取放版機械手包括升降軸，所述雙重制動裝置包括電機電磁制動裝置和導軌氣動制動裝置，所述電機電磁制動裝置和所述導軌氣動制動裝置均與所述升降軸連接。

作為優選，所述電機電磁制動裝置包括第一電磁式制動器和第二電磁式制動器；所述第一電磁式制動器通過電機與所述升降軸連接，所述第二電磁式制動器通過絲杠與所述升降軸連接。

作為優選，所述導軌氣動制動裝置包括控制器、失效檢測傳感器和氣動式制動器，所述失效檢測傳感器和所述氣動式制動器均與所述控制器信號連接；所述氣動式制動器通過導向裝置與所述升降軸連接；所述失效檢測傳感器外部設有傳感器擋片，所述傳感器擋片用于擋住所述失效檢測傳感器；所述傳感器擋片與傳動裝置接觸連接。

作為優選，所述導向裝置是導軌或者導向桿。

作為優選，所述傳動裝置包括主動輪和從動輪，所述主動輪與所述從動輪之間連接有同步帶，所述傳感器擋片通過彈簧與所述同步帶接觸連接。

作為優選，所述掩模傳輸裝置包括掩模顆粒檢測裝置，所述掩模顆粒檢測裝置用于檢測所述掩模的顆粒污染。

作為優選，所述掩模傳輸裝置包括緩存臺，所述緩存臺用于放置已曝光的所述掩模。