[發明專利]一種化學機械拋光液及其應用在審
| 申請號： | 201410856727.X | 申請日： | 2014-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN105802512A | 公開（公告）日： | 2016-07-27 |
| 發明（設計）人： | 高嫄;荊建芬;陳寶明;王雨春;蔡鑫元;邱騰飛 | 申請（專利權）人： | 安集微電子（上海）有限公司 |
| 主分類號： | C09G1/02 | 分類號： | C09G1/02;H01L21/3105;H01L21/321 |
| 代理公司： | 上海翰鴻律師事務所 31246 | 代理人： | 李佳銘 |
| 地址： | 201203 上海市浦東新區張江高科技園區*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 化學 機械拋光 及其 應用 | ||
【權利要求書】：
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于安集微電子（上海）有限公司，未經安集微電子（上海）有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201410856727.X/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
