[發明專利]一種熱色智能膜及其制備方法

有效

• 申請號: 201410856004.X
• 申請日: 2014-12-31
• 公開（公告）號: CN105799276B
• 公開（公告）日: 2018-03-16
• 發明（設計）人: 詹勇軍;徐剛;肖秀娣;史繼富
• 申請（專利權）人: 中國科學院廣州能源研究所
• 主分類號: G02F1/01
• 分類號: G02F1/01
• 代理公司: 廣州科粵專利商標代理有限公司44001
• 代理人: 莫瑤江

1.一種熱色智能膜，其特征在于，在襯底(1)上依次為第一介質層(2)、氧化釩膜層(5)、第一阻擋層(6)、第二阻擋層(7)、第二介質層(8)，所述第一阻擋層(6)為金屬氧化物膜、金屬氮化物膜或金屬氮氧化物膜，第二阻擋層(7)為金屬膜且選自NiCr、Cr、Ti、Ni、Ni合金、Cr合金中至少一種材料；所述金屬氧化物膜、金屬氮化物膜或金屬氮氧化物膜，所對應的金屬選自NiCr、Ni、Cr、Ti、Ni合金、Cr合金中至少一種。

2.如權利要求1所述的熱色智能膜，其特征在于，第一介質層(2)與氧化釩膜層(5)之間還設置有第一阻擋層(4)，或者還設置有第二阻擋層(3)和第一阻擋層(4)。

3.如權利要求1所述的熱色智能膜，其特征在于，在第二介質層(8)上還設置至少一個重復單元，所述重復單元為由第一阻擋層、氧化釩膜層、第一阻擋層、第二阻擋層、第二介質層依次層疊組成。

4.如權利要求1～3任一所述的熱色智能膜，其特征在于，所述第一阻擋層厚度為1nm～15nm。

5.如權利要求1～3任一所述的熱色智能膜，其特征在于，所述第二阻擋層的厚度為1nm～10nm。

6.如權利要求1～3任一所述的熱色智能膜，其特征在于，所述氧化釩膜層(5)由厚度為30nm～150nm的VOx組成，1.75≤x≤2.15。

7.如權利要求6所述的熱色智能膜，其特征在于，氧化釩膜層(5)為摻雜的氧化釩膜，摻雜元素選自W、Mo、Nb、Zn、Mg、F以及其它能夠改變熱色智能膜相變溫度的材料，摻雜質量百分比為0.5％～10％。

8.如權利要求1～3任一所述的熱色智能膜，其特征在于第一介質層和第二介質層為厚度30～150nm的氧化物、氮化物或氮氧化物，選自SixNy、SiOx、TiOx、Nb₂O₅、ZrO₂、SnO₂、ZnO₂、SiNO、ZnSnO₂中的一種或多種。

9.一種如權利要求1所述的熱色智能膜的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

a.提供襯底(1)；

b.采用真空磁控濺射方法在襯底(1)上依次沉積第一介質層(2)、氧化釩膜層(5)、第一阻擋層(6)、第二阻擋層(7)以及第二介質層(8)，其中第一阻擋層(6)與第二阻擋層(7)采用不同的靶材濺射，第一阻擋層(6)為金屬氧化物、金屬氮化物或金屬氮氧化物，第二阻擋層(7)為金屬膜層；

c.對鍍膜后的襯底進行退火處理。

10.如權利要求9所述的制備方法，其特征在于，步驟c中的退火處理選自紅外輻射燈管退火、閃光燈退火、激光退火或鋼化退火中的任一種。