[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于生物傳感器的表面等離子芯片及其制備方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201410855132.2
• 申請(qǐng)日: 2014-12-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN104568848B
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-10-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王艷紅;武京治;趙宇;王高
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中北大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/55
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/55
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

1.一種用于生物傳感器的表面等離子芯片，其特征在于：由玻璃基底的金屬膜層上制作的至少一個(gè)微陣列像素組成，所述的微陣列像素上面可附著被測(cè)的單層或雙層蛋白質(zhì)膜層，每個(gè)微陣列像素由周期的金屬納米線(xiàn)陣列組成，每個(gè)微陣列像素的在X方向和Y方向均為分立單元，相鄰的微陣列像素單元間無(wú)金屬膜間隔，結(jié)合金屬納米線(xiàn)陣列結(jié)構(gòu)的光學(xué)作用力和熱作用力，使得光熱效應(yīng)產(chǎn)生的熱量不因金屬的熱傳導(dǎo)被擴(kuò)散，而是按一定溫度梯度分布在金屬納米線(xiàn)周?chē)?/p>

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于生物傳感器的表面等離子芯片，其特征在于：所述的表面等離子芯片的微陣列像素在X方向?yàn)橐痪S像素陣列，Y方向?yàn)槎鄠€(gè)此一維像素陣列的排列。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于生物傳感器的表面等離子芯片，其特征在于：所述的表面等離子芯片周期陣列衍射圖樣采用SP(-1，0)表面等離子模式，CCD圖像傳感器記錄的表面等離子模式即為SP(-1，0)模式的衍射圖案。

4.一種用于生物傳感器的表面等離子芯片的制備方法，通過(guò)以下LIL方法實(shí)現(xiàn)：

首先，在玻璃基底上沉積三層介質(zhì)，分別為抗反射薄膜、二氧化硅薄膜和光刻膠薄膜；

其次，在這些膜層上面利用電子束汽化方法沉積一層金膜層；

最后，將多余的金膜層從抗反射薄膜層除去，留下具有周期的金膜線(xiàn)陣結(jié)構(gòu)，即微陣列像素組成，在微陣列像素上面可附著被測(cè)的單層或雙層蛋白質(zhì)膜層，每個(gè)微陣列像素由 金屬納米線(xiàn)陣列組成，每個(gè)微陣列像素的在X方向和Y方向均為分立單元，相鄰的微陣列像素單元間有的無(wú)金屬膜間隔，結(jié)合金屬納米線(xiàn)陣列結(jié)構(gòu)的光學(xué)作用力和熱作用力，使得光熱效應(yīng)產(chǎn)生的熱量不因金屬的熱傳導(dǎo)被擴(kuò)散，而是按一定溫度梯度分布在金屬納米線(xiàn)周?chē)?/p>