[發明專利]一種制備表面鍍層厚度減薄的金剛石的方法有效
| 申請號: | 201410855036.8 | 申請日: | 2014-12-31 |
| 公開(公告)號: | CN105803427B | 公開(公告)日: | 2018-07-03 |
| 發明(設計)人: | 白華;江南;馬洪兵;西村一仁;張軍安;薛晨;宋英澤 | 申請(專利權)人: | 寧波晶鉆工業科技有限公司 |
| 主分類號: | C23C16/56 | 分類號: | C23C16/56;C25D15/00;C25D7/00 |
| 代理公司: | 上海一平知識產權代理有限公司 31266 | 代理人: | 崔佳佳;陸鳳 |
| 地址: | 315200 浙江省寧*** | 國省代碼: | 浙江;33 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 金剛石 表面鍍層 硼層 厚度減薄 碳化硼層 氧化硼 制備 金剛石表面 清洗處理 氧化處理 氧化硼層 有效地 鍍層 去除 | ||
【權利要求書】:
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C23 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面化學處理;金屬材料的擴散處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制
C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的
C23C 對金屬材料的鍍覆;用金屬材料對材料的鍍覆;表面擴散法,化學轉化或置換法的金屬材料表面處理;真空蒸發法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆
C23C16-00 通過氣態化合物分解且表面材料的反應產物不留存于鍍層中的化學鍍覆,例如化學氣相沉積
C23C16-01 .在臨時基體上,例如在隨后通過浸蝕除去的基體上
C23C16-02 .待鍍材料的預處理
C23C16-04 .局部表面上的鍍覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金屬材料的沉積為特征的
C23C16-22 .以沉積金屬材料以外之無機材料為特征的





