[發明專利]一種線狀納米二氧化硅溶膠及其制備方法

有效

• 申請號: 201410854330.7
• 申請日: 2014-12-30
• 公開（公告）號: CN104556060A
• 公開（公告）日: 2015-04-29
• 發明（設計）人: 梁晨亮;劉衛麗;宋志棠
• 申請（專利權）人: 上海新安納電子科技有限公司;中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: C01B33/141
• 分類號: C01B33/141;C09G1/02
• 代理公司: 上海光華專利事務所 31219
• 代理人: 郭婧婧;許亦琳

1.一種線狀二氧化硅溶膠，包括液體介質和溶膠顆粒，所述溶膠顆粒為線狀二氧化硅顆粒。

2.如權利要求1所述的線狀二氧化硅溶膠，其特征在于，所述二氧化硅膠體粒子經掃描電鏡觀察呈明顯線形，長度為100～200nm；液體介質是水，pH為8～10。

3.如權利要求1所述的線狀二氧化硅溶膠，其特征在于，所述溶膠顆粒為長度150nm的線狀二氧化硅顆粒。

4.如權利要求1-3任一權利要求所述的線狀二氧化硅溶膠的制備方法，包括如下步驟：

1)以正硅酸乙酯(TEOS)作為硅源，將其與醇類溶劑按比例混合；

2)在步驟1制得的溶液中加入酸性溶液進行混合；

3)將步驟2所得溶液在常溫、常壓下持續攪拌1～3h，并密封陳化24～72h；

4)將步驟3所得溶液離心分散清洗，離心速度為2000～10000rpm，離心時間為15～60min；

5)將步驟4所得溶液撇去上清液，下部渾濁液與上清液等量的超純水混合，超聲20～60min；

6)將步驟5所得溶液重復步驟4、步驟5，直到溶液中殘余有機碳含量在1000ppm以下，pH值為6.5～7.5；

7)在步驟6所得溶液中加入堿性穩定劑調節pH為8.5～10.5，制得線形二氧化硅溶膠。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，步驟1)中，正硅酸乙酯與醇類溶劑的體積比為1:30～1:80。

6.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，步驟2)中，酸性溶液為鹽酸，硫酸，硝酸，甲酸，乙酸，檸檬酸，草酸中的一種或兩種。

7.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，步驟7)中，堿性穩定劑為無機堿或有機堿。

8.如權利要求1-3任一權利要求所述的線形二氧化硅溶膠在CMP拋光領域的用途。

9.根據權利要求8所述的用途，其特征在于，所述用途具體為所述線形二氧化硅溶膠在制備拋光劑中的用途。

10.一種拋光劑，其特征在于，所述拋光劑中含有如權利要求1-3任一權利要求所述的線形二氧化硅溶膠。