[發明專利]一種用于檢測光學元件弱吸收的裝置及方法

在審

• 申請號: 201410853727.4
• 申請日: 2014-12-30
• 公開（公告）號: CN104502068A
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發明（設計）人: 郝明明;汪麗娜;路國光;黃云;恩云飛;岳龍
• 申請（專利權）人: 工業和信息化部電子第五研究所
• 主分類號: G01M11/02
• 分類號: G01M11/02
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司44224
• 代理人: 謝偉

1.一種用于檢測光學元件弱吸收的裝置，其特征在于，包括探測激光器、光電接收器，設置在所述探測激光器與所述光電接收器之間的第一分光元件、反射鏡、第二分光元件，所述第一分光元件、第二分光元件、反射鏡與光學元件處于同一平面；所述第一分光元件、反射鏡、第二分光元件、光學元件圍成平行四邊形，且依次處于平行四邊形的四個頂點；還包括用于產生激勵光的激勵結構，所述光學元件的表面與所述激勵結構相對設置。

2.根據權利要求1所述的用于檢測光學元件弱吸收的裝置，其特征在于，所述第一分光元件、反射鏡、第二分光元件、光學元件圍成矩形，所述探測激光器的探測光入射到第一分光元件的夾角為45°。

3.根據權利要求1所述的用于檢測光學元件弱吸收的裝置，其特征在于，所述激勵結構包括泵浦激光器、聚焦鏡，所述聚焦鏡設置在所述泵浦激光器與所述光學元件之間。

4.根據權利要求3所述的用于檢測光學元件弱吸收的裝置，其特征在于，所述泵浦激光器與所述聚焦鏡之間依次設置有可變衰減器、斬波器。

5.根據權利要求1所述的用于檢測光學元件弱吸收的裝置，其特征在于，所述探測激光器的發射端與所述第一分光元件之間設置有可變光闌。

6.根據權利要求1所述的用于檢測光學元件弱吸收的裝置，其特征在于，所述光電探測器與所述第二分光鏡之間設置有濾光元件。

7.根據權利要求1所述的用于檢測光學元件弱吸收的裝置，其特征在于，所述光學元件為光學薄膜。

8.根據權利要求1所述的用于檢測光學元件弱吸收的裝置，其特征在于，所述第一分光元件與所述第二分光元件的物理參數相同。

9.一種用于檢測光學元件弱吸收的方法，其特征在于，包括如下步驟：

用第一分光元件將探測激光器發出的第一激光束分成第二激光束與第三激光束；

將第二激光束經光學元件表面偏轉后與所述第三激光束進行合束得到第四激光束；

將所述第四激光束中的雜散光濾掉后被光電探測器接收；

用激勵光照射光學元件表面，并用所述光電探測器得到所述第二激光束與所述三激光束間的干涉圖樣；

根據干涉圖樣分析所述光學元件的弱吸收率。

10.根據權利要求9所述的用于檢測光學元件弱吸收的方法，其特征在于，所述第二激光束與所述第三激光束合束得到第四激光束的具體方法為：將第三激光束經反射鏡偏轉后用第二分光元件分束得到第五激光束，將第二激光束經所述光學元件表面偏轉后用第二分光元件分束得到第六激光束，調整光學元件、反射鏡以及第二分光元件的位置使得所述第五激光束與所述第六激光束合束。