[發(fā)明專利]一種對位貼合設(shè)備

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201410850560.6
• 申請日: 2014-12-30
• 公開（公告）號: CN104626718B
• 公開（公告）日: 2017-02-22
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 井楊坤
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥京東方光電科技有限公司;京東方科技集團(tuán)股份有限公司
• 主分類號: B32B37/10
• 分類號: B32B37/10
• 代理公司: 北京同達(dá)信恒知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11291
• 代理人: 黃志華

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及液晶面板制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種對位貼合設(shè)備。

背景技術(shù)

目前，真空貼合工藝是液晶面板制造過程中的重要步驟，在密閉的真空腔體中，通過上定盤和下定盤分別吸附陣列(Thin?Film?Transistor，TFT)基板和彩膜(Color?Filter，CF)基板，上定盤和下定盤相向移動，把TFT基板和CF基板壓合在一起形成液晶面板。

在真空貼合工藝中，對位時要精確的檢測并控制垂直方向的振動，以提高對位精度。

目前生產(chǎn)趨勢是6代以下產(chǎn)品進(jìn)行生產(chǎn)液晶屏小型化，越小的尺寸對于對位精度的要求越高，目前5、4.95以下的產(chǎn)品對位精度設(shè)計值達(dá)到4.75um。因此，對于真空對合機(jī)控制振動的要求就更加高，因此，提供一種能夠控制垂直方向振動、提高對位精度的對位貼合設(shè)備是目前亟需解決的重要問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明提供了一種對位貼合設(shè)備，該對位貼合設(shè)備能夠控制基臺在垂直方向的振動，從而可以提高對位精度。

為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供以下技術(shù)方案：

一種對位貼合設(shè)備，包括：

底座；

與所述底座相對設(shè)置的基臺，所述基臺背離所述底座的一側(cè)表面形成支撐面；

設(shè)置于所述底座和基臺之間的緩沖件；

設(shè)置于所述底座和基臺之間的驅(qū)動件；

設(shè)置于所述基臺的支撐面的對合單元；

設(shè)置于所述基臺以檢測所述基臺沿垂直于所述支撐面方向的振動信息的振動傳感器；

與所述驅(qū)動件、所述振動傳感器以及所述對合單元信號連接的控制器，所述控制器用于：

當(dāng)所述振動傳感器采集的振動信息位于所述控制器設(shè)定的閾值范圍內(nèi)時，控制所述驅(qū)動件根據(jù)形成的調(diào)節(jié)信號為所述基臺提供與其振動方向相反的作用力，以平衡所述基臺受到的振動力；

當(dāng)所述振動傳感器采集的振動信息超出所述控制器設(shè)定的閾值范圍時，控制所述對合單元根據(jù)產(chǎn)生的制動信號停止動作。

上述對位貼合設(shè)備，可以通過振動傳感器檢測基臺沿垂直于支撐面方向的振動信息，并且可以根據(jù)振動傳感器采集的振動信息通過控制器對對合單元進(jìn)行控制，即當(dāng)振動信息位于控制器設(shè)定的閾值范圍內(nèi)時，控制器控制驅(qū)動件根據(jù)形成的調(diào)節(jié)信號為基臺提供與其振動方向相反的作用力，以平衡基臺受到的振動力，從而保證精準(zhǔn)對位；當(dāng)振動信息超出控制器設(shè)定的閾值范圍時，控制器控制對合單元根據(jù)產(chǎn)生的制動信號停止動作，以在振動較大時停止對盒過程，從而可以避免對盒過程失敗。

因此，上述對位貼合設(shè)備能夠控制基臺在垂直方向的振動，從而可以提高對位精度。

優(yōu)選地，所述驅(qū)動件為雙向電磁作動器、或者基于材料機(jī)敏性的作動器。

優(yōu)選地，當(dāng)所述驅(qū)動件為所述基于材料機(jī)敏性的作動器時，所述作動器的材料為壓電陶瓷、或者壓電薄膜、或者電致伸縮陶瓷、或者形狀記憶合金、或者磁致伸縮材料。

優(yōu)選地，所述緩沖件為空氣彈簧。

優(yōu)選地，所述振動傳感器為壓電射流垂直振動感知儀。

優(yōu)選地，所述對合單元包括：

固定于所述基臺的支撐面的定位架；

固定于所述定位架的定貼合板；

安裝于所述定位架的動貼合板；

驅(qū)動所述動貼合板動作的第一驅(qū)動裝置，所述第一驅(qū)動裝置與所述控制器信號連接；

安裝于所述定位架、用于檢測所述動貼合板行程的位置檢測裝置；

支撐機(jī)構(gòu)，當(dāng)所述動貼合板相對于所述定貼合板的行程超過設(shè)定位置時，所述支撐機(jī)構(gòu)用于支撐于所述定貼合板與所述動貼合板之間。

優(yōu)選地，所述位置檢測裝置為行程開關(guān)。

優(yōu)選地，所述支撐機(jī)構(gòu)安裝于所述定貼合板。

優(yōu)選地，所述支撐機(jī)構(gòu)包括：

固定于所述定貼合板上的固定座，所述固定座背離所述定貼合板的一側(cè)設(shè)有滑軌；

安裝于所述固定座、且與所述滑軌滑動配合的支撐柱，所述支撐柱可沿垂直于所述基板支撐面的方向伸縮；

與所述位置檢測裝置信號連接、安裝于所述固定座以驅(qū)動所述支撐柱沿所述滑軌滑動的第二驅(qū)動裝置。

優(yōu)選地，所述支撐柱包括固定桿和伸縮桿，所述伸縮桿可以相對于所述固定桿做伸縮運動、且固定桿和伸縮桿之間連接有緩沖彈簧；所述固定桿的一端與所述固定座上設(shè)置的滑軌滑動配合；且當(dāng)所述支撐柱支撐于所述定貼合板與所述動貼合板之間時，所述伸縮桿的伸出端與動貼合板朝向定貼合板的一面相抵。

優(yōu)選地，所述第二驅(qū)動裝置為氣缸。