[發明專利]一種人造藍寶石晶片缺陷檢測裝置在審
| 申請號： | 201410849802.X | 申請日： | 2014-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN104458758A | 公開（公告）日： | 2015-03-25 |
| 發明（設計）人： | 喻更生;周益春;鄧謀棟 | 申請（專利權）人： | 湘潭大學 |
| 主分類號： | G01N21/88 | 分類號： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 湘潭市匯智專利事務所(普通合伙) 43108 | 代理人： | 顏昌偉 |
| 地址： | 41110*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 人造 藍寶石 晶片 缺陷 檢測 裝置 | ||
1.一種人造藍寶石晶片缺陷檢測裝置，其特征在于，包括LED平行光管、半反射鏡、吸光板、環形光源柱形架、45°LED環形光源、10°LED環形光源、高清攝像機、計算機，環形光源柱形架側壁的相對位置分別安裝有一對45°LED環形光源和10°LED環形光源，所述環形光源柱形架的底部用于安放待測試的藍寶石晶片，半反射鏡放置在所述藍寶石晶片的正上方，所述半反射鏡的后方放置有吸光板，LED平行光管發出的平行光通過所述半反射鏡反射后垂直照射在所述藍寶石晶片上，所述45°LED環形光源、10°LED環形光源和LED平行光管所發出的光經藍寶石晶片散射后發出的散射光由高清攝像機接收，所述高清攝像機將接收到的散射光的數字圖像發送至計算機進行圖像處理。
2.如權利要求1所述的人造藍寶石晶片缺陷檢測裝置，其特征在于，所述LED平行光管為亮度可調且高于背景光的光源。
3.如權利要求1或2所述的人造藍寶石晶片缺陷檢測裝置，其特征在于，所述LED平行光管發出的光束均勻且直徑不小于待測試的藍寶石晶片直徑。
4.如權利要求1所述的人造藍寶石晶片缺陷檢測裝置，其特征在于，所述環形光源柱形架的內部為黑色。
5.如權利要求1所述的人造藍寶石晶片缺陷檢測裝置，其特征在于，所述45°LED環形光源和10°LED環形光源照射藍寶石晶片的角度可調。
6.如權利要求1所述的人造藍寶石晶片缺陷檢測裝置，其特征在于，所述高清攝像機的像素不低于2000W且可程控調焦。
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