[發明專利]一種電容式觸控面板及制作方法

在審

• 申請號: 201410849543.0
• 申請日: 2014-12-30
• 公開（公告）號: CN104503644A
• 公開（公告）日: 2015-04-08
• 發明（設計）人: 黃亮;余漢水;劉錫鋼;陳凱;孫偉杰;蔣蔚
• 申請（專利權）人: 深圳力合光電傳感股份有限公司
• 主分類號: G06F3/044
• 分類號: G06F3/044
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所44237
• 代理人: 張全文

1.一種電容式觸控面板的制作方法，其特征在于，包括下述步驟：

在玻璃基板上依次設置SiO2膜層及透明導電膜；

在所述透明導電膜之上制作感光膠圖案；

通過所述感光膠圖案刻蝕所述透明導電膜，形成透明電極圖案，并保留所述感光膠圖案；

在所述感光膠圖案和露出的SiO2膜層之上設置過渡層；

去除所述感光膠圖案和感光膠圖案表面的過渡層，保留其他區域的過渡層；

向所述透明電極圖案和過渡層上鍍Cu膜或Cu合金膜，并刻蝕所述Cu膜或Cu合金膜，在所述透明電極圖案的周圍形成與其連接的Cu導線或Cu合金導線。

2.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述過渡層采用耐堿材料，所述感光膠圖案采用不耐堿材料；所述去除所述感光膠圖案和感光膠圖案表面的過渡層，保留其他區域的過渡層的步驟具體為：通過強堿刻蝕工藝使所述感光膠圖案脫落，使得其表面的過渡層隨之脫落，其他區域的過渡層得以保留。

3.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，在所述在玻璃基板上依次設置SiO2膜層及透明導電膜的步驟之前還包括：在玻璃基板上設置油墨邊框的步驟；

所述SiO2膜層及透明導電膜至少部分覆蓋所述油墨邊框，所述Cu導線或Cu合金導線在所述玻璃基板上的投影位于所述油墨邊框在所述玻璃基板上的投影之內。

4.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述過渡層的厚度為10～30nm。

5.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述Cu合金膜的材料為Cu-Ni合金，其中，Ni的含量為5％。

6.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，在向所述透明電極圖案上鍍Cu膜或Cu合金膜時，采用的第一個靶位充入O2，形成不完全氧化物CuOx。

7.如權利要求1所述的制作方法，其特征在于，采用H2SO4、H3PO4和CH3COOH的混合液刻蝕所述Cu膜或Cu合金膜，所述H2SO4、H3PO4和CH3COOH的質量分數分別為15％、55％、30％。

8.一種電容式觸控面板，其特征在于，包括玻璃基板、依次設置于所述玻璃基板上的SiO2膜層以及透明電極圖案，所述透明電極圖案的周圍設有與其連接的Cu導線或Cu合金導線，在所述Cu導線或Cu合金導線與所述SiO2膜層之間設有防止Cu元素向SiO2膜層擴散進而向所述透明電極圖案擴散的過渡層。

9.如權利要求8所述的電容式觸控面板，其特征在于，在所述透明電極圖案的周圍設有油墨邊框，所述SiO2膜層和過渡層至少部分覆蓋所述油墨邊框，所述Cu導線或Cu合金導線在所述玻璃基板上的投影位于所述油墨邊框在所述玻璃基板上的投影之內。

10.如權利要求8或9所述的電容式觸控面板，其特征在于，所述過渡層的厚度為10～30nm。