[發明專利]工件檢測裝置及工件檢測方法在審
| 申請號： | 201410848248.3 | 申請日： | 2014-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN105806261A | 公開（公告）日： | 2016-07-27 |
| 發明（設計）人： | 閔浩毅;徐戰軍;邢建龍 | 申請（專利權）人： | 西安隆基硅材料股份有限公司 |
| 主分類號： | G01B11/26 | 分類號： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 西安弘理專利事務所 61214 | 代理人： | 羅笛 |
| 地址： | 710100 陜西*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 工件 檢測 裝置 方法 | ||
【權利要求書】：
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