[發明專利]高速激光點陣光刻機及其光刻方法在審
| 申請號： | 201410847281.4 | 申請日： | 2014-12-31 |
| 公開（公告）號： | CN105798464A | 公開（公告）日： | 2016-07-27 |
| 發明（設計）人： | 侯英華 | 申請（專利權）人： | 哈爾濱冠標科技有限公司 |
| 主分類號： | B23K26/362 | 分類號： | B23K26/362;B23K26/082;G03F7/20 |
| 代理公司： | 哈爾濱東方專利事務所 23118 | 代理人： | 陳曉光 |
| 地址： | 150000 黑龍江省哈爾濱市道里區哈雙*** | 國省代碼： | 黑龍江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 高速 激光 點陣 光刻 及其 方法 | ||
【說明書】：
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